[发明专利]通过实时控制静电夹钳中的静电电荷沉积来提供一致性静电夹持的方法

权利要求书

1.一种用于控制静电夹持压力的系统，该系统包括：

静电夹钳，该静电夹钳配置成通过一个或多个电极选择性将工件静电夹持至与其相关联的夹持面；

电耦接至所述静电夹钳的电源供应器，其中，该电源供应器配置成选择性以夹持频率向所述静电夹钳的一个或多个电极供给夹持电压；

数据采集系统，该数据采集系统操作性耦接至所述电源供应器并配置成测量供给至所述一个或多个电极的电流，以此定义经测电流；以及

控制器，该控制器配置成取所述经测电流对时间的积分，以此定义与工件与静电夹钳间夹持力相关联的确定电荷值，且其中，所述控制器进一步配置成基于确定电荷值选择性更改夹持电压和夹持频率之中的一个或多个，由此保持工件与静电夹钳间的期望夹持力。

2.根据权利要求1所述的系统，其中，选择性更改夹持电压和夹持频率之中的一个或多个保持供给至所述一个或多个电极的电流，以此保持工件与静电夹钳间的期望夹持力。

3.根据权利要求1所述的系统，其中，所述工件与静电夹钳间的期望夹持力与预定的期望电荷值范围相关联，且其中，选择性更改夹持电压和夹持频率之中的一个或多个保持供给至所述一个或多个电极的电流，使得确定电荷值保持在预定的期望电荷值范围内。

4.根据权利要求3所述的系统，其中，所述期望夹持力包括一定范围的期望夹持力。

5.根据权利要求1所述的系统，其进一步包括存储器，该存储器配置成存储与夹持力相关联的电荷值。

6.根据权利要求5所述的系统，其中，所述存储器进一步配置成存储与多个夹持周期中各自的多个电荷值相关联的多个夹持电压和多个夹持频率。

7.根据权利要求6所述的系统，其中，所述控制器进一步配置成基于所述确定电荷值与所述多个电荷值相比较来确定所述静电夹钳的夹持能力状态。

8.根据权利要求1所述的系统，其中，所述控制器包括数值积分器，该数值积分器配置成执行对所述经测电流的数值积分。

9.根据权利要求1所述的系统，其中，所述电源供应器包括交流电源供应器，且其中，所述数据采集系统进一步配置成测量供给至所述一个或多个电极的电流的极性。

10.根据权利要求1所述的系统，其中，所述静电夹钳包括三相静电夹钳，且其中，所述电源供应器配置成选择性向所述静电夹钳的一个或多个电极交替供给三相夹持电压。

11.一种用于控制静电夹持压力的系统，该系统包括：

静电夹钳，该静电夹钳配置成选择性将工件静电夹持至与其相关联的夹持面，其中，所述静电夹钳包括一个或多个电极；

电源供应器，该电源供应器配置成选择性以夹持频率向所述一个或多个电极供给夹持电压，以此选择性将工件静电夹持至所述夹持面；

数据采集系统，该数据采集系统配置成测量与夹持电压和夹持频率相关联的电流，以此定义经测电流；以及

控制器，该控制器配置成取所述经测电流对时间的积分，以此定义与工件与静电夹钳间夹持力相关联的确定电荷值，且其中，所述控制器进一步配置成基于确定电荷值选择性更改夹持电压和夹持频率之中的一个或多个，以此控制工件与静电夹钳间的夹持力。

12.根据权利要求11所述的系统，其中，所述控制器配置成通过选择性更改夹持电压和夹持频率之中的一个或多个而保持工件与静电夹持间的基本恒定的夹持力。

13.根据权利要求11所述的系统，其进一步包括存储器，该存储器配置成存储与多个夹持周期中的多个夹持力相关联的多个电荷值。

14.根据权利要求11所述的系统，其中，所述控制器包括数值积分器，该数值积分器配置成执行对所述经测电流的数值积分。