[发明专利]形成有可流动流体的流道的粘合陶瓷及其制备方法在审
申请号: | 201880078245.2 | 申请日: | 2018-11-23 |
公开(公告)号: | CN111433170A | 公开(公告)日: | 2020-07-17 |
发明(设计)人: | 薛昶煜 | 申请(专利权)人: | 韩国东海炭素株式会社 |
主分类号: | C04B37/00 | 分类号: | C04B37/00;H01L21/683 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 曹廷廷 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及一种形成有可流动流体的流道的粘合陶瓷及其制备方法,更具体地,涉及一种形成有可流动流体的流道的粘合陶瓷及其制备方法,其中,所述形成有可流动流体的流道的粘合陶瓷包括:第一陶瓷基板;以及第二陶瓷基板,所述第一陶瓷基板及所述第二陶瓷基板彼此粘合而不需要粘附层,在与所述第二陶瓷基板接触的所述第一陶瓷基板的粘合面、与所述第一陶瓷基板接触的所述第二陶瓷基板的粘合面或所述两个面上都形成有图案,并且,包括沿所述第一陶瓷基板和所述第二陶瓷基板的粘合面形成的尺寸为0.01μm至50μm的气孔。 | ||
搜索关键词: | 形成 流动 流体 粘合 陶瓷 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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