[发明专利]基板用保护具以及附膜基板的制造方法有效
| 申请号： | 201880078244.8 | 申请日： | 2018-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN111433388B | 公开（公告）日： | 2023-05-12 |
| 发明（设计）人： | 福井悦二 | 申请（专利权）人： | 日本电气硝子株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C16/458;H01L21/683 |
| 代理公司： | 上海和跃知识产权代理事务所(普通合伙) 31239 | 代理人： | 尹洪波 |
| 地址： | 日本滋贺县*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 基板用保护具(11)具备：基材片(12)，构成为至少可覆盖基板(S)的周缘部的尺寸；粘着层(13)，可粘着于基板(S)的周缘部；以及可挠性的隔板(14)，配置于基材片(12)与粘着层(13)之间。基材片(12)在被粘着层(13)及隔板(14)包围的位置具有贯通孔(12a)。附膜基板的制造方法具备：准备步骤，经由基板用保护具(11)的基材片(12)的贯通孔(12a)吸引基板(S)，准备基板用保护具(11)与基板(S)粘着的成膜用基板；以及成膜步骤，在成膜用基板的基板(S)的第二主面(S2)将功能性膜进行成膜。 | ||
| 搜索关键词： | 基板用保 护具 以及 附膜基板 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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