[发明专利]基板用保护具以及附膜基板的制造方法

说明书

基板用保护具(11)具备：基材片(12)，构成为至少可覆盖基板(S)的周缘部的尺寸；粘着层(13)，可粘着于基板(S)的周缘部；以及可挠性的隔板(14)，配置于基材片(12)与粘着层(13)之间。基材片(12)在被粘着层(13)及隔板(14)包围的位置具有贯通孔(12a)。附膜基板的制造方法具备：准备步骤，经由基板用保护具(11)的基材片(12)的贯通孔(12a)吸引基板(S)，准备基板用保护具(11)与基板(S)粘着的成膜用基板；以及成膜步骤，在成膜用基板的基板(S)的第二主面(S2)将功能性膜进行成膜。

技术领域

本发明涉及基板用保护具以及附膜基板的制造方法。

背景技术

有时，在玻璃基板等基板的两个主面中，仅在基板的一个主面将功能性膜进行成膜。在这种情况下，通过用基板用保护具来保护基板的另一主面，从而能够抑制基板的另一主面的功能性膜的成膜。例如，在专利文献1中，通过使用具有附着在基板的不是成膜对象的一侧的主面的周缘部的附着面的治具，防止成膜材料蔓延于该主面。

专利文献1：日本特开2016－197623号公报

发明内容

如上述的现有技术，关于在仅于基板的一个主面将功能性膜进行成膜时，抑制由成膜材料的蔓延造成的成膜材料对基板的另一主面周缘部的附着的技术，尚有改善的余地。

本发明的目的在于提供一种可仅在基板的一个主面适当地将功能性膜进行成膜的基板用保护具以及附膜基板的制造方法。

解决上述课题的基板用保护具，对具有第一主面和位于所述第一主面相反的一侧的第二主面的基板的所述第一主面进行保护，具备：基材片，构成为至少能够覆盖所述基板的周缘部的尺寸；粘着层，能够粘着于所述基板的周缘部；以及可挠性的隔板，配置于所述基材片与所述粘着层之间，所述基材片在由所述粘着层及所述隔板包围的位置具有贯通孔。

根据该构成，可于功能性膜的成膜前，经由基材片的贯通孔吸引基板，通过粘着层将基板的周缘部与基材片的周缘部进行粘着，于功能性膜的成膜时可抑制成膜材料蔓延而附着于基板的第一主面的周缘部。

而且，基板为例如为0.05～1.5mm薄的情形时，在吸引时即使基板挠曲，由于可挠性的隔板也挠曲，故不会有粘着层从基板的周缘部剥离的情形。而且，将基板用保护具安装于基板时，由于亦可不将基板的第二主面按压于治具等，故易于保持基板的第二主面的清洁性。

解决上述课题的附膜基板的制造方法，使用上述基板用保护具制造附膜基板，具备：准备步骤，经由所述基板用保护具的基材片的贯通孔吸引基板，准备所述基板用保护具与所述基板粘着的成膜用基板；以及成膜步骤，于所述成膜用基板的所述基板的所述第二主面将功能性膜进行成膜。

根据本发明，可仅于基板的一个主面适当地将功能性膜进行成膜。

附图说明

图1为表示实施方式的基板用保护具的分解立体图。

图2为表示成膜用基板的立体图。

图3为说明成膜用基板的准备步骤的立体图。

图4为说明成膜用基板的准备步骤的端视图。

图5为说明成膜用基板的准备步骤的端视图。

图6为表示基板用保护具及附膜基板的立体图。

图7为说明成膜用基板的准备步骤的变更例的立体图。

图8为说明成膜用基板的准备步骤的变更例的立体图。

具体实施方式

以下，针对本发明的基板用保护具及附膜基板的制造方法的实施方式，参照附图进行说明。再者，附图中，为了便于说明，有夸张地表示构成的一部分(例如厚度)的情形。而且，针对各部分的尺寸比例，有与实际不同的情形。