[发明专利]具有偏移锚负载抑制的MEMS传感器有效
| 申请号： | 201880077618.4 | 申请日： | 2018-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN111417837B | 公开（公告）日： | 2022-05-06 |
| 发明（设计）人： | M·汤普森;H·乔哈里-加勒;L·巴尔达萨雷;S·尼灿;K·威廉姆斯 | 申请（专利权）人： | 应美盛股份有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/5783 | 分类号： | G01C19/5783;G01P15/125 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 张丹 |
| 地址： | 美国加*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种MEMS传感器包括MEMS层、盖层和基板层。MEMS层包括悬置的弹簧‑质块系统，该悬置的弹簧‑质块系统响应于感测到的惯性力而移动。悬置的弹簧‑质块系统从一个或多个锚悬置。锚通过锚定部件耦合到盖层和基板层中的每一个。锚定部件被偏移，使得施加到盖层或基板层的力引起锚的旋转，并且使得悬置的弹簧‑质块系统基本上保持在原始MEMS层内。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 偏移 负载 抑制 mems 传感器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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