[发明专利]异物除去方法及光检测装置的制造方法在审
| 申请号： | 201880075448.6 | 申请日： | 2018-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN111373303A | 公开（公告）日： | 2020-07-03 |
| 发明（设计）人： | 广瀬真树;柴山胜己;笠原隆;川合敏光;大山泰生;藏本有未 | 申请（专利权）人： | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号： | G02B26/00 | 分类号： | G02B26/00;B81C3/00;B81C99/00;G01J3/26;G01N21/88 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 杨琦;黄浩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的一实施方式的异物除去方法包含如下步骤：准备法布里‑帕罗干涉滤光器，该法布里‑帕罗干涉滤光器构成为在互相相对的第1层叠体的至少包含第1镜部的部分与第2层叠体的至少包含第2镜部的部分间形成空隙，从而互相相对的第1镜部与第2镜部间的距离通过静电力而变化；检测附着于第2层叠体的表面的异物；及通过将基于检测出的异物的位置将气流波峰的位置调整后的空气吹送至第2层叠体的表面，而将异物自第2层叠体的表面除去。 | ||
| 搜索关键词： | 异物 除去 方法 检测 装置 制造 | ||
【主权项】：
暂无信息
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