[发明专利]异物除去方法及光检测装置的制造方法

说明书

本发明的一实施方式的异物除去方法包含如下步骤：准备法布里‑帕罗干涉滤光器，该法布里‑帕罗干涉滤光器构成为在互相相对的第1层叠体的至少包含第1镜部的部分与第2层叠体的至少包含第2镜部的部分间形成空隙，从而互相相对的第1镜部与第2镜部间的距离通过静电力而变化；检测附着于第2层叠体的表面的异物；及通过将基于检测出的异物的位置将气流波峰的位置调整后的空气吹送至第2层叠体的表面，而将异物自第2层叠体的表面除去。

技术领域

本公开涉及一种将附着于法布里-帕罗干涉滤光器的异物除去的异物除去方法及光检测装置的制造方法。

背景技术

作为现有的法布里-帕罗干涉滤光器，已知有具备基板、以及在基板上经由空隙互相相对的固定镜及可动镜滤光器(例如参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特表2013-506154号公报

发明内容

[发明所要解决的问题]

由于法布里-帕罗干涉滤光器具有膜状且相对脆弱的可动镜，故担心可动镜的变形或破损等的方式的异物除去基本未作尝试。因此，有仅表面附着有异物的法布里-帕罗干涉滤光器被作为不良品处理的情形，阻碍良率的提高。

因此，本公开的目的在于提供一种可有效除去附着于法布里-帕罗干涉滤光器的异物，可提高良率的异物除去方法及光检测装置的制造方法。

[解决问题的技术手段]

本公开的一方面的异物除去方法包含如下步骤：准备法布里-帕罗干涉滤光器，该法布里-帕罗干涉滤光器具备具有互相相对的第1表面及第2表面的基板、具有配置于第1表面的第1镜部的第1层叠体、及具有配置于第1镜部上的第2镜部的第2层叠体，且构成为在互相相对的第1层叠体的至少包含第1镜部的部分与第2层叠体的至少包含第2镜部的部分间形成空隙，从而互相相对的第1镜部与第2镜部间的距离通过静电力而变化；检测附着于第2层叠体的第1层叠体的相反侧的表面的异物；及通过将基于检测出的异物的位置将气流波峰的位置调整后的空气吹送至第2层叠体的表面，而自第2层叠体的表面除去异物。

根据本公开的一方面的异物除去方法，可检测附着于法布里-帕罗干涉滤光器的第2层叠体的表面的异物，并通过空气的吹送将该异物除去。由于空气的气流波峰的位置基于检测出的异物的位置而调整，故可通过该空气的吹送，将异物适当地除去。通过以上所述，根据上述的异物除去方法，可有效除去附着于法布里-帕罗干涉滤光器的异物，可良率良好地获得法布里-帕罗干涉滤光器。

此处，在法布里-帕罗干涉滤光器中，在互相相对的第1层叠体的至少包含第1镜部的部分与第2层叠体的至少包含第2镜部的部分之间，形成有空隙。即，第2层叠体中自第1镜部与第2镜部相对的方向观察时与空隙重叠的部分(以下，简称为「膜部」)具有所谓的膜构造，成为相对脆弱的部分。因此，以往，在膜部产生成为负荷的应力，未尝试担心膜部的变形或破损等的方式的异物除去，有异物附着的法布里-帕罗干涉滤光器多作为不良品处理。但，本发明人等积极研究的结果确认，若为吹送空气的方式，则即使为在膜部产生应力的方法，也能够在不给法布里-帕罗干涉滤光器的特性带来较大影响的情况下将异物除去。

也可为，在除去异物的步骤中，将气流波峰的位置以与异物的位置一致的方式进行调整。该情形时，可通过气流波峰(即，空气的流速最大的部分)与异物直接碰撞，更确实地将异物除去。