[发明专利]异物除去方法及光检测装置的制造方法

权利要求书

1.一种异物除去方法，其特征在于，

包括如下步骤：

准备法布里-帕罗干涉滤光器的步骤，该法布里-帕罗干涉滤光器具备具有互相相对的第1表面及第2表面的基板、具有配置于所述第1表面的第1镜部的第1层叠体、及具有配置于所述第1镜部上的第2镜部的第2层叠体，且构成为在互相相对的所述第1层叠体的至少包含所述第1镜部的部分与所述第2层叠体的至少包含所述第2镜部的部分间形成空隙，从而互相相对的所述第1镜部与所述第2镜部间的距离通过静电力而变化；

检测附着于所述第2层叠体的所述第1层叠体的相反侧的表面的异物的步骤；及

通过将基于检测出的所述异物的位置将气流波峰的位置调整后的空气吹送至所述第2层叠体的所述表面，而将所述异物自所述第2层叠体的所述表面除去。

2.如权利要求1所述的异物除去方法，其中，

在除去所述异物的步骤中，将所述气流波峰的位置以与所述异物的位置一致的方式进行调整。

3.如权利要求1或2所述的异物除去方法，其中，

在所述第2层叠体中自所述第1镜部与所述第2镜部互相相对的方向观察时与所述空隙重叠的部分，形成有自所述第2层叠体的所述表面至所述空隙的多个贯通孔，

在除去所述异物的步骤中，至少对所述第2层叠体的所述表面中形成有所述多个贯通孔的区域吹送所述空气。

4.如权利要求1至3中任一项所述的异物除去方法，其中，

在准备所述法布里-帕罗干涉滤光器的步骤中，准备二维连结有多个所述法布里-帕罗干涉滤光器的晶圆，

检测所述异物的步骤及除去所述异物的步骤对构成所述晶圆的所述法布里-帕罗干涉滤光器实施。

5.如权利要求1至3中任一项所述的异物除去方法，其中，

在准备所述法布里-帕罗干涉滤光器的步骤中，准备经单片化的所述法布里-帕罗干涉滤光器。

6.一种光检测装置的制造方法，其特征在于，

所述光检测装置具备：封装，其具有形成有使光入射的开口的盖及与所述盖接合的底座；法布里-帕罗干涉滤光器，其配置于所述封装内；及光检测器，其配置于所述封装内，检测透过所述法布里-帕罗干涉滤光器的所述光，

所述法布里-帕罗干涉滤光器具备：基板，其具有互相相对的第1表面及第2表面；第1层叠体，其具有配置于所述第1表面的第1镜部；及第2层叠体，其具有配置于所述第1镜部上的第2镜部；且构成为在互相相对的所述第1层叠体的至少包含所述第1镜部的部分与所述第2层叠体的至少包含所述第2镜部的部分间形成空隙，从而互相相对的所述第1镜部与所述第2镜部间的距离通过静电力而变化，

所述制造方法包括如下步骤：

准备固定有所述法布里-帕罗干涉滤光器及所述光检测器的所述底座的步骤；

检测附着于固定在所述底座的所述法布里-帕罗干涉滤光器的所述第2层叠体的所述第1层叠体的相反侧的表面的异物的步骤；

通过将基于检测出的所述异物的位置将气流波峰的位置调整后的空气吹送至所述第2层叠体的所述表面，而将所述异物自所述第2层叠体的所述表面除去的步骤；及

在除去所述异物的步骤之后将所述盖与所述底座接合的步骤。