[发明专利]用于合成碳纳米管的方法和装置

摘要

本文提供了用于生产具有高结构均匀性和低杂质水平的碳纳米管(CNT)的方法和装置。该装置包括，例如，用于在衬底上沉积催化剂的模块，用于形成CNT的模块，用于从衬底分离CNT的模块，用于收集CNT的模块以及用于连续且顺序地推进衬底通过上述模块的模块。该方法包括，例如，在移动的衬底上沉积催化剂，在衬底上形成碳纳米管，从衬底分离碳纳米管，以及从表面收集碳纳米管的步骤，其中衬底顺序移动通过沉积、形成、分离和收集步骤。