[发明专利]用于合成碳纳米管的方法和装置在审

专利信息
申请号: 201880068809.4 申请日: 2018-08-21
公开(公告)号: CN111373073A 公开(公告)日: 2020-07-03
发明(设计)人: C·V·恩固因 申请(专利权)人: 恩瑟玛公司
主分类号: C23C16/44 分类号: C23C16/44;C23C16/452
代理公司: 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218 代理人: 丁靄迪;翟羽
地址: 美国加利*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 用于 合成 纳米 方法 装置
【权利要求书】:

1.一种合成多壁碳纳米管的方法,包含:

在恒定移动的衬底上连续沉积催化剂;

在所述衬底上形成多壁碳纳米管;

从所述衬底分离多壁碳纳米管;以及

收集多壁碳纳米管;

其中所述衬底恒定地顺序移动通过所述沉积、形成、分离和收集步骤。

2.根据权利要求1所述的方法,其中所述多壁碳纳米管垂直排列。

3.根据权利要求1所述的方法,其中所述多壁碳纳米管具有均匀长度。

4.根据权利要求3所述的方法,其中所述均匀长度为约50μM、约100μM、约150μM或约200μM。

5.根据权利要求1所述的方法,其中所述多壁碳纳米管垂直排列并具有均匀长度。

6.根据权利要求1所述的方法,其中所述多壁碳纳米管的纯度大于90%、95%、99%、99.5%或99.9%。

7.根据权利要求1所述的方法,其中所述多壁碳纳米管的纯度大于90%、95%、99%、99.5%或99.9%,并且均匀长度为约50μM、约100μM、约150μM或约200μM。

8.根据权利要求1所述的方法,其中所述多壁碳纳米管垂直排列,纯度大于90%、95%、99%、99.5%或99.9%,并且均匀长度为约50μM、约100μM、约150μM或约200μM。

9.一种合成多壁碳纳米管的装置,包含:

催化剂模块,其在恒定移动的衬底上连续沉积催化剂;

纳米管合成模块,其在所述衬底上形成多壁碳纳米管。

分离模块,其从所述衬底去除多壁碳纳米管;

收集模块,其收集所述多壁碳纳米管;以及

传送模块,其用于连续推进所述衬底顺序通过所述催化剂模块、所述纳米管模块、所述分离模块和所述收集模块。

10.根据权利要求9所述的装置,其中所述多壁纳米管合成模块包含沉积室,所述沉积室包含矩形或正方形的石英。

11.具有均匀长度和大于90%纯度的多壁碳纳米管。

12.根据权利要求11所述的多壁碳纳米管,其中所述均匀长度为约50μM、约100μM、约150μM或约200μM。

13.根据权利要求11所述的多壁碳纳米管,其中所述纯度大于90%、95%、99%、99.5%或99.9%。

14.根据权利要求11所述的多壁碳纳米管,其中所述纯度大于95%、99%、99.5%或99.9%,并且所述均匀长度为约50μM、约100μM、约150μM或约200μM。

15.根据权利要求11所述的多壁碳纳米管,其中所述多壁碳纳米管垂直排列。

16.根据权利要求15所述的多壁碳纳米管,其中所述均匀长度为约50μM、约100μM、约150μM或约200μM。

17.根据权利要求15所述的多壁碳纳米管,其中所述纯度大于90%、95%、99%、99.5%或99.9%。

18.根据权利要求15所述的多壁碳纳米管,其中所述纯度大于95%、99%、99.5%或99.9%并且均匀长度为约50μM、约100μM、约150μM或约200μM。

19.根据权利要求15所述的多壁碳纳米管,其中所述拉曼光谱的Ig/Id比为约0.76。

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