[发明专利]工艺腔室和用于吹扫其的方法有效
| 申请号： | 201880068154.0 | 申请日： | 2018-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN111247268B | 公开（公告）日： | 2022-09-23 |
| 发明（设计）人： | 塞克兹·卡亚;马库斯·埃芬格 | 申请（专利权）人： | 乔治洛德方法研究和开发液化空气有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/44 | 分类号： | C23C16/44;H01L21/67;B33Y10/00;B33Y30/00 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 彭立兵;林柏楠 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种用于吹扫工艺腔室(1)的方法，该方法至少包括以下步骤：a)将最初包含在该工艺腔室(1)内的气体的温度至少升高到第一温度，b)将处于第二温度的吹扫气体引入该工艺腔室(1)中，其中，该第一温度高于该第二温度。使用所提供的方法，可以使用比如氮气和/或氩气等吹扫气体以特别低的吹扫气体消耗和/或使用特别短的吹扫时间来吹扫工艺腔室(1)。这可以通过在吹扫之前升高最初包含在该工艺腔室(1)中的气体的温度来实现，因此降低此气体的密度。 | ||
| 搜索关键词： | 工艺 用于 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于乔治洛德方法研究和开发液化空气有限公司，未经乔治洛德方法研究和开发液化空气有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201880068154.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：用于在轮胎中形成可无接触式读取的标识单元的方法
- 下一篇：热水供暖系统
- 同类专利
- 专利分类
C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
