[发明专利]干涉测量台定位装置有效
| 申请号： | 201880065095.1 | 申请日： | 2018-10-01 |
| 公开（公告）号： | CN111183501B | 公开（公告）日： | 2022-11-25 |
| 发明（设计）人： | M·K·M·巴格根;W·O·普里尔;E·A·F·范德帕施 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 郑振 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于电子束检查装置的台装置，包括：载物台(3)，其包括支撑表面，该载物台被配置为将衬底(190)支撑在该支撑表面上；定位设备(180)，其被配置为定位载物台；位置测量系统(5)，其包括位置传感器(8‑10)，该位置传感器被配置为测量载物台的平行于第一轴线的高度位置，该第一轴线基本垂直于支撑表面，该位置传感器包括具有干涉仪传感器(9、10、12)的干涉仪测量系统，其中干涉仪传感器的测量束(11、15)被配置为沿测量方向照射载物台的反射表面，该测量方向具有平行于第一轴线的第一分量和平行于第二轴线的第二分量，该第二轴线基本上垂直于第一轴线。 | ||
| 搜索关键词： | 干涉 测量 定位 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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