[发明专利]样品检查中的图像对比度增强有效
| 申请号： | 201880062821.4 | 申请日： | 2018-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN111433881B | 公开（公告）日： | 2023-09-15 |
| 发明（设计）人： | 王義向;张楠 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/02 | 分类号： | H01J37/02;H01J37/28 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 傅远 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本文中公开了一种方法，包括：在第一时间段期间，将第一数量的电荷沉积到样品的区域中；在第二时间段期间，将第二数量的电荷沉积到该区域中；在扫描带电粒子的束在样品上生成的探针斑点的同时，从探针斑点中记录表示带电粒子的束与样品的相互作用的信号；其中第一时间段期间的平均沉积速率和第二时间段期间的平均沉积速率不同。 | ||
| 搜索关键词： | 样品 检查 中的 图像 对比度 增强 | ||
【主权项】：
暂无信息
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