[发明专利]利用多个带电粒子束检查样本的方法有效
| 申请号： | 201880058003.7 | 申请日： | 2018-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN111066118B | 公开（公告）日： | 2023-04-11 |
| 发明（设计）人： | 曾国峰;董仲华;王義向;陈仲玮 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/28 | 分类号： | H01J37/28 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 崔卿虎 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本文公开了一种设备，包括：被配置为发射带电粒子的源、光学系统和台架；其中台架被配置为在其上支撑样本并且被配置为将样本在第一方向上移动第一距离；其中光学系统被配置为利用带电粒子在样本上形成探测点；其中光学系统被配置为在台架将样本在第一方向上移动第一距离时，将探测点同时在第一方向上移动第一距离并且在第二方向上移动第二距离；其中光学系统被配置为在台架将样本在第一方向上移动第一距离之后，将探测点在第一方向的相反方向上移动第一距离减去探测点之一的宽度。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 带电 粒子束 检查 样本 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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