[发明专利]具有能直线和旋转地被驱动的传感器装置的三轴微机械转速传感器组件在审
| 申请号： | 201880057522.1 | 申请日： | 2018-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN111051815A | 公开（公告）日： | 2020-04-21 |
| 发明（设计）人： | R·诺伊;A·拉斯尔;B·库尔曼;P·德根费尔德-舍恩堡;O-A·普吕茨;N·F·库尔曼;J-T·利韦德;N·博德;M·屈内尔 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/5712 | 分类号： | G01C19/5712;G01C19/5747 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 侯鸣慧 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种微机械转速传感器组件和一种相应的制造方法。所述微机械转速传感器组件包括能够围绕第一轴(z)旋转振荡地被驱动的第一转速传感器装置(100)，以用于感测围绕第二轴(y)的第一外部转速和围绕第三轴(x)的第二外部转速，其中，第一、第二和第三轴(z、y、x)彼此垂直地布置，并且包括能够通过驱动装置(AT；AT’；AT”)沿着所述第二轴(y)直线振荡地驱动的第二转速传感器装置(200；201；202)，以用于感测围绕所述第一轴(z)的第三外部转速。为了通过所述驱动装置(200；201；202)驱动所述第一转速传感器装置(100)，所述第二转速传感器装置(200；201；202)与所述第一转速传感器装置(100)通过第一耦合装置(S1、F5；S2、F6；SA、SB、F12)连接。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 直线 旋转 驱动 传感器 装置 微机 转速 组件 | ||
【主权项】：
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