[发明专利]具有能直线和旋转地被驱动的传感器装置的三轴微机械转速传感器组件

权利要求书

1.微机械转速传感器组件，该微机械转速传感器组件具有：

能够围绕第一轴(z)旋转振荡地被驱动的第一转速传感器装置(100)，以用于感测围绕第二轴(y)的第一外部转速和围绕第三轴(x)的第二外部转速，其中，所述第一、第二和第三轴(z、y、x)彼此垂直地布置；和

能够通过驱动装置(AT；AT’；AT”)沿着所述第二轴(y)直线振荡地被驱动的第二转速传感器装置(200；201；202)，以用于感测围绕所述第一轴(z)的第三外部转速；

其中，为了通过所述驱动装置(200；201；202)驱动所述第一转速传感器装置(100)，所述第二转速传感器装置(200；201；202)与所述第一转速传感器装置(100)通过第一耦合装置(S1、F5；S2、F6；SA、SB、F12)连接。

2.根据权利要求1所述的微机械转速传感器组件，其中，能旋转地被驱动的所述第一转速传感器装置(100)具有：

第一转子装置(1a)，该第一转子装置能够围绕所述第一轴(z)振荡地被驱动；

第二转子装置(1b)，该第二转子装置能够围绕所述第一轴(z)相对于所述第一转子装置(1a)反相振荡地被驱动；

其中，所述第一转子装置(1a)能够通过所述第一外部转速围绕所述第二轴(y)并且通过所述第二外部转速围绕所述第三轴(x)倾翻，并且，其中，所述第二转子装置(1b)能够通过所述第一外部转速围绕所述第二轴(y)并且通过所述第二外部转速围绕所述第三轴(x)相对于所述第一转子装置(1a)反平行地倾翻；

其中，所述第一耦合装置(S1、F5；S2、F6；SA、SB、F12)具有第一弹簧装置(F12)，通过该第一弹簧装置使所述第一转子装置(1a)和所述第二转子装置(1b)耦合，使得抑制围绕所述第二轴(y)的平行倾翻并且能够实现围绕所述第二轴(y)的反平行倾翻；

第二耦合装置(K1、K2)，通过该第二耦合装置使所述第一转子装置(1a)和所述第二转子装置(1b)耦合，使得抑制围绕所述第三轴(x)的平行倾翻并且能够实现围绕所述第三轴(x)的反平行倾翻；

用于感测所述第一和第二转子装置(1a；1b)围绕所述第二轴(y)的反平行倾翻的第一感测装置(CPY、CNY；CPY’、CNY’)；和

用于感测所述第一和第二转子装置(1a；1b)围绕所述第三轴(x)的反平行倾翻的第二感测装置(CPX、CNX；CPX’、CNX’)。

3.根据权利要求2所述的微机械转速传感器组件，其中，能被直线驱动的所述第二转速传感器装置(200；201；202)具有：

带着第一框架(R1；R1’；R1”)和第二框架(R2；R2’、R2”)的框架装置(R1、R2；R1’、R2’；R1”、R2”)；

其中，所述第二框架(R2；R2’；R2”)至少部分地由所述第一框架(R1；R1’；R1”)包围；

其中，所述第一框架(R1；R1’；R1”)能够沿着所述第二轴(y)振荡地被驱动，并且，其中，所述第二框架(R2；R2’；R2”)能够沿着所述第二轴(y)相对于所述第一框架(R1；R1’；R1”)反相振荡地被驱动；

其中，所述第一和第二框架(R1、R2；R1’、R2’；R1”、R2”)能够通过围绕所述第一轴(z)的所述第三外部转速沿着所述第三轴(x)反相振荡地偏移；

第三耦合装置(4a、4b；4a’-4d’；4a”、4b”)，通过该第三耦合装置使所述第一框架(R1；R1’；R1”)和所述第二框架(R2；R2’；R2”)耦合，使得抑制所述第一和第二框架(R1、R2；R1’、R2’；R1”、R2”)沿着所述第三轴(x)的同相偏移并且能够实现所述第一和第二框架(R1、R2；R1’、R2’；R1”、R2”)沿着所述第三轴(x)的反相偏移；和

用于感测所述第一和第二框架(R1、R2；R1’、R2’；R1”、R2”)沿着所述第三轴(x)的反相偏移的第三感测装置(EK1、EK2、EK3)。

4.根据权利要求3所述的微机械转速传感器组件，其中，为了围绕所述第一轴(z)反相振荡地驱动所述第一和第二转子装置(1a；1b)，所述第一和第二框架(R1、R2)与所述第一和第二转子装置(1a；1b)通过所述第一耦合装置(S1、F5；S2、F6；SA、SB、F12)连接。