[发明专利]平衡RF电路和交叉耦合的SIMO分配网络的控制有效
| 申请号： | 201880054854.4 | 申请日： | 2018-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN111033681B | 公开（公告）日： | 2023-03-10 |
| 发明（设计）人： | 大卫·J·库莫;丹尼斯·M·布朗;政锡姜;金许 | 申请（专利权）人： | MKS仪器有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 于会玲;宋志强 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种单输入多输出等离子控制系统包括接收单个输入并产生多个输出的分路器。将来自分路器的每个输出提供至负载。分路器包括被连接在所选择的分路器输出之间的分支电路。分支电路控制每个分支之间的电压、电流、功率、频率或相位以使能控制在每个负载处测得的电压、电流、功率、阻抗、频率或相位之间的预定关系。 | ||
| 搜索关键词： | 平衡 rf 电路 交叉 耦合 simo 分配 网络 控制 | ||
【主权项】：
暂无信息
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