[发明专利]平衡RF电路和交叉耦合的SIMO分配网络的控制

说明书

一种单输入多输出等离子控制系统包括接收单个输入并产生多个输出的分路器。将来自分路器的每个输出提供至负载。分路器包括被连接在所选择的分路器输出之间的分支电路。分支电路控制每个分支之间的电压、电流、功率、频率或相位以使能控制在每个负载处测得的电压、电流、功率、阻抗、频率或相位之间的预定关系。

相关申请的交叉引用

本申请要求于2018年8月24日提交的第16/112,055号美国实用新型专利申请案的优先权，并且也要求享有于2017年8月29日提交的第62/551,637号美国临时申请案的权益。上述申请案的全部公开内容以引用的方式并入本文中。

技术领域

本公开涉及RF系统以及在多个输出之间的多个功率、电压或电流之间分配功率。

背景技术

本部分提供了与本公开相关的、不必是现有技术的信息。在此提供的背景技术描述是用于一般地呈现本公开内容的目的。就在本背景技术部分中所描述的程度而言，当前署名的发明人的工作以及在递交时可能未另外描述为现有技术的说明书的方面，既不明确地也不隐含地被承认为本公开的现有技术。

在各种基于等离子的制造系统中，工件在电极或工作站之间旋转。在一些配置中，工件在每个电极或工作站处花费相等的时间。在每个电极或工作站处花费相等的时间导致在每个电极或工作站之间的功率失配，因为工件在每个工作站或电极处花费相等的时间。通过旋转工件以相等的时间段通过多个站而提供的该理论上相等的能量理论上导致改进的沉积均匀性并相应地提高了吞吐量。例如，如果工件旋转通过四个电极或工作站，提供了4:1的吞吐量。

然而，在一些基于等离子的制造系统中，每个电极或工作站之间的功率偏差可以显著变化。显著变化可以降低理论上通过旋转工件通过多个电极或工作站所提供的所期望的均匀性。

发明内容

本部分提供了本公开的一般性概述，且并非是本公开的全部范围或所有特征的全面公开。

一种单输入多输出等离子控制系统包括接收单个输入并产生多个输出的分路器。将来自分路器的每个输出提供至负载阻抗。分路器包括被连接在所选择的分路器输出之间的分支电路。分支电路控制每个分支之间的电压、电流或功率流以使能平衡施加至每个负载的各个电压、电流或功率。

电分路器接收RF输出信号并产生第一RF输出和第二RF输出至各个第一负载和第二负载。电分路器包括提供第一RF输出至第一负载的第一支路，以及提供第二RF输出至第二负载的第二支路。被连接在第一支路和第二支路之间的平衡电路控制与第一支路和第二支路中的一个相关联的电参数的第一数值，以及与第一支路和第二支路中的另一个相关联的电参数的第二数值。第一数值和第二数值被控制为预定关系。

RF系统包括产生RF信号的RF功率源。分路器接收RF信号并产生第一RF输出和第二RF输出至各个第一负载和第二负载。RF系统包括提供第一RF输出至第一负载的第一支路，以及提供第二RF输出至第二负载的第二支路。平衡电路被连接在第一支路和第二支路之间。平衡电路包括至少一个部件。至少一个部件是可变的，以控制与第一支路和第二支路中的一个相关联的电参数的第一数值，以及与第一支路和第二支路中的另一个相关联的电参数的第二数值。控制器被配置为改变至少一个部件。控制器控制至少一个部件，使得第一数值和第二数值被控制为预定关系。

电分路器的平衡电路接收RF输出信号并产生第一RF输出和第二RF输出至各个第一负载和第二负载。第一支路提供第一RF输出至第一负载，且第二支路提供第二RF输出至第二负载。平衡电路包括被连接在第一支路和第二支路之间的至少一个部件。至少一个部件是可变的，以控制与第一支路和第二支路中的一个相关联的电参数的第一数值，以及与第一支路和第二支路中的另一个相关联的电参数的第二数值。第一数值和第二数值被控制为预定关系。

根据本文提供的描述，其它应用领域将变得显而易见。发明内容中的描述和特定示例仅旨在用于说明的目的，并不旨在限制本公开的范围。

附图说明