[发明专利]具有电极组件的等离子体腔室有效
| 申请号： | 201880048120.5 | 申请日： | 2018-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN110945624B | 公开（公告）日： | 2022-11-18 |
| 发明（设计）人： | 肯尼思·S·柯林斯;迈克尔·R·赖斯;卡提克·雷马斯瓦米;詹姆斯·D·卡达希;沙希德·劳夫;卡洛·贝拉;郭悦 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于等离子体处理的处理工具包括腔室主体、工件支撑件、致动器、气体分配器、电极组件与第一RF电源，腔室主体具有内部空间，内部空间提供等离子体腔室，腔室主体具有顶板以及与顶板相对的一侧上的开口，工件支撑件固持工件，使得工件的前表面的至少一部分面向开口，致动器在腔室主体和工件支撑件之间产生相对运动，使得开口侧向地移动横越过工件，所述气体分配器将处理气体输送到所述等离子体腔室，所述电极组件包含多个共面丝，所述多个共面丝侧向地延伸通过所述工件支撑件和所述顶板之间的所述等离子体腔室，所述多个丝中的各个丝包含导体，所述第一RF电源向所述电极组件的所述导体提供第一RF功率以形成等离子体。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 电极 组件 等离子 体腔 | ||
【主权项】：
暂无信息
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