[发明专利]用于高效工艺窗口探索的混合检验系统有效
| 申请号： | 201880047936.6 | 申请日： | 2018-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN110945636B | 公开（公告）日： | 2021-05-25 |
| 发明（设计）人： | B·达菲 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 刘丽楠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明揭示一种检验系统，其包含控制器，所述控制器通信地耦合到物理检验装置PID、经配置以分析所存储PID数据的虚拟检验装置VID及缺陷验证装置DVD。所述控制器可：接收包含用定义工艺窗口的选定光刻配置制造的多个图案的样本的图案布局；接收通过用所述PID分析所述样本而识别的PID识别缺陷的位置，其中所述PID识别缺陷是通过所述DVD验证；从所述工艺窗口移除与所述PID识别缺陷的所述位置相关联的一或多个光刻配置；通过移除与通过用所述VID分析所存储PID数据的选定部分而识别的VID识别缺陷相关联的一或多个光刻配置而迭代地改善所述工艺窗口；及在满足选定结束条件时提供所述工艺窗口作为输出。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 高效 工艺 窗口 探索 混合 检验 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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