[发明专利]检查扫描探针显微镜的测量尖端的方法和设备在审
| 申请号： | 201880047666.9 | 申请日： | 2018-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN111164432A | 公开（公告）日： | 2020-05-15 |
| 发明（设计）人： | K.科尼洛夫;C.鲍尔;M.鲍尔 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司SMT有限责任公司 |
| 主分类号： | G01Q40/00 | 分类号： | G01Q40/00;G01Q40/02 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 王蕊瑞 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种检查扫描探针显微镜(520)的测量尖端(100、110)的方法，其中该方法包括以下步骤：(a)在通过测量尖端(100、110)对样品(400、510)进行分析前后产生至少一个测试结构(600、650、710、730、750、770、810、850)；以及(b)借助于所产生的至少一个测试结构(600、650、710、730、750、770、810、850)来检查测量尖端(100、110)。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 扫描 探针 显微镜 测量 尖端 方法 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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