[发明专利]检查装置及检查方法在审

专利信息
申请号: 201880047133.0 申请日: 2018-05-10
公开(公告)号: CN110892256A 公开(公告)日: 2020-03-17
发明(设计)人: 大槻祥平 申请(专利权)人: 株式会社斯库林集团
主分类号: G01N21/88 分类号: G01N21/88;G01N21/95
代理公司: 北京市金杜律师事务所 11256 代理人: 陈伟;王娟娟
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 一种检查装置,具备:前端拍摄机构,其拍摄旋转的工件的凸部的前端;上游拍摄机构,其拍摄上游壁面,所述上游壁面是从在工件的旋转方向上在上游侧与凸部相邻的凹部的底部连至凸部的前端的壁面;下游拍摄机构,其拍摄下游壁面,所述下游壁面是从在旋转方向上在下游侧与凸部相邻的凹部的底部连至凸部的前端的壁面;和检查部,其基于由前端拍摄机构、上游拍摄机构及下游拍摄机构拍摄到的图像来对工件进行检查,上游拍摄机构及下游拍摄机构中的至少一者具有使其在与对称轴正交的正交面内平行移动并定位的移动部,在工件的径向外侧从由移动部定位的位置进行拍摄。
搜索关键词: 检查 装置 方法
【主权项】:
暂无信息
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