[发明专利]检查装置及检查方法

权利要求书

1.一种检查装置，用于对工件进行检查，该工件呈绕对称轴旋转对称的形状且具有周期性地反复设有凸部和凹部的外周部，

所述检查装置的特征在于，具备：

保持台，其在保持所述工件的同时，使所述工件在所述对称轴与旋转轴一致的状态下绕所述旋转轴旋转；

前端拍摄机构，其拍摄旋转的所述工件的所述凸部的前端；

上游拍摄机构，其拍摄上游壁面，所述上游壁面是从在所述工件的旋转方向的上游侧与所述凸部相邻的所述凹部的底部连至所述凸部的前端的壁面；

下游拍摄机构，其拍摄下游壁面，所述下游壁面是从在所述旋转方向的下游侧与所述凸部相邻的所述凹部的底部连至所述凸部的前端的壁面；和

检查部，其基于由所述前端拍摄机构、所述上游拍摄机构及所述下游拍摄机构拍摄到的图像对所述工件进行检查，

所述上游拍摄机构及所述下游拍摄机构中的至少一者具有使其在与所述对称轴正交的正交面内平行移动并定位的移动部，在所述工件的径向外侧从由所述移动部定位的位置进行拍摄。

2.如权利要求1所述的检查装置，其特征在于，

所述上游拍摄机构具有所述移动部，所述上游拍摄机构从上游侧轨迹的切线方向外侧对所述上游壁面进行拍摄，所述上游侧轨迹是通过所述工件的旋转而由所述上游壁面描绘的轨迹。

3.如权利要求1或2所述的检查装置，其特征在于，

所述上游拍摄机构具有上游拍摄部，所述上游拍摄部使上游焦点位置位于通过所述工件的旋转而由所述上游壁面描绘的上游侧轨迹上，对所述上游壁面进行拍摄。

4.如权利要求3所述的检查装置，其特征在于，

所述上游拍摄机构具有多个所述上游拍摄部，

多个所述上游拍摄部在所述旋转轴的轴向上配置在彼此不同的位置，从彼此不同的角度对所述上游焦点位置进行拍摄。

5.如权利要求1～4中任一项所述的检查装置，其特征在于，

所述下游拍摄机构具有所述移动部，所述下游拍摄机构从下游侧轨迹的切线方向外侧对所述下游壁面进行拍摄，所述下游侧轨迹是通过所述工件的旋转而由所述下游壁面描绘的轨迹。

6.如权利要求5所述的检查装置，其特征在于，

所述下游拍摄机构具有下游拍摄部，所述下游拍摄部使下游焦点位置位于所述下游侧轨迹上而对所述下游壁面进行拍摄。

7.如权利要求6所述的检查装置，其特征在于，

所述下游拍摄机构具有多个所述下游拍摄部，

多个所述下游拍摄部在所述旋转轴的轴向上配置在彼此不同的位置，以彼此不同的角度对所述下游焦点位置进行拍摄。

8.如权利要求1～7中任一项所述的检查装置，其特征在于，

所述前端拍摄机构具有多个前端拍摄部，所述多个前端拍摄部从所述工件的径向外侧对所述凸部的前端进行拍摄，

所述多个前端拍摄部在所述旋转轴的轴向上配置在彼此不同的位置，以彼此不同的角度对所述凸部的前端进行拍摄。

9.如权利要求8所述的检查装置，其特征在于，

所述上游拍摄机构及所述下游拍摄机构隔着所述工件配置在所述前端拍摄机构的相反侧。

10.一种检查方法，对工件进行检查，该工件呈绕对称轴旋转对称的形状且具有周期性地反复设有凸部和凹部的外周部，所述检查方法的特征在于，包括：

旋转工序，在保持所述工件的同时使所述工件在所述对称轴与旋转轴一致的状态下绕所述旋转轴旋转；

定位工序，使上游拍摄机构和下游拍摄机构中的至少一者在所述工件的径向外侧在与所述对称轴正交的正交面内平行移动并定位，所述上游拍摄机构拍摄上游壁面，所述上游壁面是从在所述工件的旋转方向的上游侧与所述凸部相邻的所述凹部的底部连至所述凸部的前端的壁面，所述下游拍摄机构拍摄下游壁面，所述下游壁面是从在所述旋转方向的下游侧与所述凸部相邻的所述凹部的底部连至所述凸部的前端的壁面；

图像取得工序，在所述定位工序后，通过前端拍摄机构拍摄绕所述旋转轴旋转的所述工件的所述凸部的前端而取得前端图像，通过所述上游拍摄机构拍摄上游壁面而取得上游壁面图像，通过所述下游拍摄机构拍摄下游壁面而取得下游壁面图像，其中，所述上游壁面是从在所述工件的旋转方向的上游侧与所述凸部相邻的所述凹部的底部连至所述凸部的前端的壁面，所述下游壁面是从在所述旋转方向的下游侧与所述凸部相邻的所述凹部的底部连至所述凸部的前端的壁面；和

检查工序，基于所述前端图像、所述上游壁面图像及所述下游壁面图像对所述工件进行检查。