[发明专利]用于陶瓷材料的化学机械抛光的氧化流体有效
| 申请号： | 201880042326.7 | 申请日： | 2018-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN110892093B | 公开（公告）日： | 2021-12-28 |
| 发明（设计）人： | 道格拉斯·埃德温·沃德;贾森·A·舍洛克;安哥拉·瓦米纳·夸蓬 | 申请（专利权）人： | 圣戈本陶瓷及塑料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23F3/00 | 分类号： | C23F3/00;C09G1/04;C09K3/14 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 章蕾 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开涉及可用于无机材料的化学机械抛光工艺中的流体组合物。所述流体组合物可包含至少一种氧化剂和多价阳离子组分。在化学机械抛光工艺中使用所述流体组合物，可在实现合适的材料去除率的同时，促进在抛光后形成相对无缺陷的材料表面。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 陶瓷材料 化学 机械抛光 氧化 流体 | ||
【主权项】：
暂无信息
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