[发明专利]电力转换单元、等离子体处理设备和控制多个等离子体处理的方法有效
| 申请号： | 201880040274.X | 申请日： | 2018-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN110785828B | 公开（公告）日： | 2022-04-26 |
| 发明（设计）人： | J·P·恩格尔施泰特;M·海因策;J·斯维亚特尼基 | 申请（专利权）人： | 通快许廷格有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;C23C14/34;H01J37/34;H02M7/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 周家新 |
| 地址： | 波兰*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种电力转换单元(1，1’)，其中，所述电力转换单元(1，1’)能够将输入电力转换为双极性的输出电力并将此输出电力输送到至少两个独立的等离子体处理室(9a、9b、…9n)，所述单元(1，1’)包括：一个电力输入端口(2)，其用于连接到电力输送网(7)，至少两个、优选是多于两个的电力输出端口(3a、3b、…3n)，每个电力输出端口(3a、3b、…3n)用于连接到等离子体处理室(9a、9b、…9n)之一，控制装置(4)，其被配置为能够以如下方式控制所述单元(1，1’)将双极性的输出电力输送到电力输出端口(3a、3b、…3n)：使用控制参数，通过获得针对输出端口(3a、3b、…3n)的参数的期望值的全集，计算电力转换单元(1，1’)是否能够将每个期望的参数输送到输出端口(3a、3b、…3n)中的每个，如果是，则计算输送到输出端口(3a、3b、…3n)的电力的脉冲的序列，以为等离子体处理提供电力，其中，控制参数为以下项中的至少一个的控制参数：功率、电压、电流、激励频率或用于保护装置的阈值。 | ||
| 搜索关键词： | 电力 转换 单元 等离子体 处理 设备 控制 方法 | ||
【主权项】：
1.一种电力转换单元(1，1’)，其中，所述电力转换单元(1，1’)能够将输入电力转换为双极性的输出电力并将此输出电力输送到至少两个独立的等离子体处理室(9a、9b、…9n)，所述单元(1，1’)包括：/n-一个电力输入端口(2)，其用于连接到电力输送网(7)，/n-至少两个、优选是多于两个的电力输出端口(3a、3b、…3n)，每个电力输出端口(3a、3b、…3n)用于连接到等离子体处理室(9a、9b、…9n)之一，/n-控制装置(4)，其被配置为能够使用控制参数，通过获得针对输出端口(3a、3b、…3n)的参数的期望值的全集，来控制所述单元(1，1’)将双极性的输出功率输送到功率输出端口(3a、3b、…3n)，其中，所述控制参数为以下项中的至少一个的控制参数：功率、电压、电流、激励频率和用于保护装置的阈值，/n-控制装置(4)还被配置为能够计算电力转换单元(1，1’)是否能够将每个期望的参数输送到输出端口(3a、3b、…3n)中的每个，如果是，则计算输送到输出端口(3a、3b、…3n)的电力的脉冲的序列，以为等离子体处理提供电力。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于通快许廷格有限公司，未经通快许廷格有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201880040274.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
