[发明专利]碳化硅空间形体及形成球状体的方法有效
| 申请号： | 201880035616.9 | 申请日： | 2018-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN111065614B | 公开（公告）日： | 2022-11-04 |
| 发明（设计）人： | 道格拉斯·杜克斯;格伦·桑德格林;安德鲁·R·霍普金斯;伊莎贝尔·伯林汉姆;马克·S·兰德 | 申请（专利权）人： | 帕里杜斯有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/515 | 分类号： | C04B35/515;C04B35/64;C08G77/20 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫 |
| 地址： | 美国纽约*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 用于球状体生长的SiC起始材料的空间形体。控制SiC球状体的气相沉积生长及提供方向性通量的方法。自单一球状体生长循环增加晶圆的数量、电子部件的数量及可操作性元件的数量的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 碳化硅 空间 形体 形成 球状 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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