[发明专利]弹性波装置、高频前端电路以及通信装置

摘要

本发明提供一种即使在同一压电基板上设置有电极指间距不同的多个IDT电极的情况下也能够有效地抑制无用波的弹性波装置。弹性波装置(1)具备：压电基板(2)，由LiNbO3构成；以及第一电介质膜(8)(电介质膜)，设置在压电基板(2)上，使得覆盖设置在压电基板(2)上的第一IDT电极(4A)、第二IDT电极(4B)。第一IDT电极(4A)、第二IDT电极(4B)具有主电极层。将由第一IDT电极(4A)、第二IDT电极(4B)的电极指间距规定的波长设为λ1、λ2，将其平均值设为λ0，设λ1/λ0＝1+X且λ2/λ0＝1‑X，此时，0.05≤X≤0.65。波长λ1最长，波长λ2最短。压电基板(2)的欧拉角(θ，ψ)中的为0°±5°，ψ为0°±10°，θ满足式1。在式1中，B1＜T×r≤0.10λ0，且B2＜T×r≤0.10λ0。

主权项

1.一种弹性波装置，具备：/n压电基板，由LiNbO₃构成；/n多个IDT电极，设置在所述压电基板上，且包含第一IDT电极以及第二IDT电极；以及/n电介质膜，设置在所述压电基板上，使得覆盖所述多个IDT电极，/n所述第一IDT电极以及所述第二IDT电极具有主电极层，/n将由所述第一IDT电极的电极指间距规定的波长设为λ₁，将由所述第二IDT电极的电极指间距规定的波长设为λ₂，将所述波长λ₁以及所述波长λ₂的平均值设为λ₀＝(λ₁+λ₂)/2，设λ₁/λ₀＝1+X且λ₂/λ₀＝1-X，此时，0.05≤X≤0.65，/n所述多个IDT电极中的所述第一IDT电极的所述波长λ₁最长，且所述第二IDT电极的所述波长λ₂最短，/n将用所述平均值λ₀对所述第一IDT电极的所述主电极层以及所述第二IDT电极的所述主电极层中的至少一者的膜厚进行了归一化的膜厚设为T，将所述主电极层的材料与Pt的密度比设为r，此时，所述压电基板的欧拉角中的为0°±5°，ψ为0°±10°，θ满足下述式1，/n-A₁/(T×r-B₁)+C₁≤θ≤-A₂/(T×r-B₂)+C₂ …式1/nB₁＜T×r≤0.10λ₀，且B₂＜T×r≤0.10λ₀，/n上述式1中的A₁、B₁、C₁、A₂、B₂以及C₂由使用了X的下述式2～式8表示，/nA₁＝0.056×10^-4.93×X+0.0016 …式2/nB₁＝-0.088×X²+0.066×X+0.0386(0.05≤X≤0.375) …式3/nB₁＝0.051(0.375≤X≤0.65) …式4/nC₁＝0.714×10^-5.26×X+29.37 …式5/nA₂＝0.0987×X²-0.0918×X+0.0644 …式6/nB₂＝-0.0651×X²+0.1114×X+0.0351 …式7/nC₂＝0.7830×X²-1.7424×X+32.70 …式8。/n