[发明专利]带电粒子束装置在审
| 申请号： | 201880024056.7 | 申请日： | 2018-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN110494948A | 公开（公告）日： | 2019-11-22 |
| 发明（设计）人： | 榎本裕久;铃木渡;小柳宗和;羽根田茂;菊池秀树 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;F16F7/01;F16F15/02;F16F15/04;H01J37/16 |
| 代理公司： | 11243 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张敬强;金成哲<国际申请>=PCT/JP |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供在环境声音等干扰作用于装置而使试样台振动时，在维持使该试样台的振动降低的支撑部件的刚性的状态下赋予衰减的技术。本公开的带电粒子束装置具备能够移动试样的试样台、使该试样台的振动衰减的衰减部、以及容纳试样台和衰减部的试样室。在该带电粒子束装置中，试样台和衰减部水平配置。另外，试样台形成被夹在衰减部与箱体的第一侧面之间而被支撑的结构，在衰减部的箱体的内部填充有多个摩擦体(图2)。 | ||
| 搜索关键词： | 试样台 衰减部 带电粒子束装置 环境声音 内部填充 水平配置 移动试样 振动衰减 支撑部件 摩擦体 试样室 衰减 容纳 侧面 支撑 赋予 | ||
【主权项】：
1.一种带电粒子束装置，其特征在于，具备：/n能够移动试样的试样台；/n使该试样台的振动衰减的衰减部；以及/n容纳上述试样台和上述衰减部的试样室，/n上述试样台和上述衰减部水平配置，/n上述试样台形成被夹在上述衰减部与上述试样室的第一侧面之间而被支撑的结构，/n在上述衰减部的箱体的内部填充有多个摩擦体。/n
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