[发明专利]带电粒子束装置

权利要求书

1.一种带电粒子束装置，其特征在于，具备：

能够移动试样的试样台；

使该试样台的振动衰减的衰减部；以及

容纳上述试样台和上述衰减部的试样室，

上述试样台和上述衰减部水平配置，

上述试样台形成被夹在上述衰减部与上述试样室的第一侧面之间而被支撑的结构，

在上述衰减部的箱体的内部填充有多个摩擦体。

2.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，

上述摩擦体是由金属或陶瓷构成的部件。

3.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，

上述衰减部具备能够伸缩的调整螺钉，该调整螺钉从该衰减部朝向上述试样台延伸，通过该调整螺钉支撑上述试样台。

4.根据权利要求3所述的带电粒子束装置，其特征在于，

上述衰减部承接上述试样台的振动，通过上述多个摩擦体生成针对上述振动的衰减。

5.根据权利要求4所述的带电粒子束装置，其特征在于，

上述调整螺钉调整上述衰减部的衰减及刚性。

6.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，

上述试样台具有插入上述衰减部的内部的棒状部，

上述衰减部具有：筒状部件，其具有供上述摩擦体嵌合的多个孔；以及载物台承接部件，其内置于该筒状部件且承接上述试样台的上述棒状部的前端，

嵌合于上述筒状部件的上述多个孔的上述摩擦体与上述载物台承接部件的承接上述棒状部的前端的面以外的面接触。

7.根据权利要求6所述的带电粒子束装置，其特征在于，

上述衰减部埋入于上述试样室的与上述第一侧面不同的第二侧面的内部。

8.根据权利要求5所述的带电粒子束装置，其特征在于，

上述衰减部在填充上述多个摩擦体的内部空间具备台阶，通过使所填充的上述多个摩擦体的个数可变，能够调整上述衰减部的衰减功能。

9.根据权利要求5所述的带电粒子束装置，其特征在于，

上述衰减部具备沿水平方向延伸的多个突起，该多个突起与所填充的上述多个摩擦体的数个接触。

10.根据权利要求5所述的带电粒子束装置，其特征在于，

上述衰减部在填充上述多个摩擦体的空间具备垫板，该垫板包含具有比上述摩擦体的直径小的直径的多个孔，

上述多个摩擦体嵌合于上述垫板的上述多个孔而填充于上述衰减部的内部。

11.根据权利要求5所述的带电粒子束装置，其特征在于，

上述调整螺钉具有支撑上述试样台的多个支撑部。

12.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，

上述衰减部具备：杆，其在前端具有支撑上述试样台的支撑部；以及调整螺钉，其在上述衰减部的箱体的与安装有上述杆的面不同的面调整上述衰减部的衰减及刚性。

13.根据权利要求12所述的带电粒子束装置，其特征在于，

上述多个摩擦体填充于上述杆的侧面与上述衰减部的箱体的内部侧面之间，

由上述摩擦体支撑上述杆的侧面。

14.根据权利要求12所述的带电粒子束装置，其特征在于，

上述衰减部在上述衰减部的箱体的内部具有保持上述多个摩擦体的摩擦体保持箱体，

上述摩擦体保持箱体具有使密封上述摩擦体的盖部件可动的构造，

以在上述调整螺钉与上述摩擦体之间产生相对位移的方式，在上述调整螺钉与上述摩擦体保持箱体的供上述调整螺钉插入的孔之间设有间隙。