[发明专利]带电粒子束装置

说明书

本发明提供在环境声音等干扰作用于装置而使试样台振动时，在维持使该试样台的振动降低的支撑部件的刚性的状态下赋予衰减的技术。本公开的带电粒子束装置具备能够移动试样的试样台、使该试样台的振动衰减的衰减部、以及容纳试样台和衰减部的试样室。在该带电粒子束装置中，试样台和衰减部水平配置。另外，试样台形成被夹在衰减部与箱体的第一侧面之间而被支撑的结构，在衰减部的箱体的内部填充有多个摩擦体(图2)。

技术领域

本发明涉及带电粒子束装置。

背景技术

通常，带电粒子束装置多载置于房间等的地板。在这样的设置环境中，若对带电粒子束装置作用地板振动、环境声音等干扰，则经由试样室，振动传递至试样台，产生图像抖动。为了降低该振动，考虑了各种方法。例如，专利文献1公开了介于载置试样的载物台与试样室壁之间的减震器。另外，专利文献2为在其它工业用机器上的利用摩擦降低振动的方法，但也公开了设置于建筑物与地基(地面)之间的隔震装置。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开第00/16371号

专利文献2：日本特开2006－242212号公报

发明内容

发明所要解决的课题

就试样台而言，从使用用途的观点出发，仅将单侧固定于试样室，容易从试样室抽出。因此，试样台为悬臂构造，设置试样的试样台前端容易振动。因此，从试样室向试样台前端伸出强度高的支撑部件进行支撑。

但是，根据专利文献1，填充高粘性流体，将减震器设置于试样台前端。该减震器封入有高粘性流体，因此在圆柱状的凸形部件与凹形部件之间夹着环状的橡胶部件，存在虽然附加了衰减，但是导致刚性大幅降低的问题。

另外，根据专利文献2，在橡胶和钢板沿铅垂方向层叠而成的层叠体内部设置空洞，在该内部填充有球体等摩擦体。由于为利用橡胶支撑的隔震构造，因此刚性低。因此，存在无法在维持试样台的支撑部件要求的那样高的刚性的状态下赋予衰减。

本公开鉴于这样的状况而做成，其提供一种技术，在环境声音等干扰作用于装置而使试样台振动时，在维持使该试样台的振动降低的支撑部件的刚性的状态下，赋予衰减。

用于解决课题的方案

本公开的带电粒子束装置具备能够移动试样的试样台、使该试样台的振动衰减的衰减部、以及容纳试样台和衰减部的试样室。在该带电粒子束装置中，试样台和衰减部水平配置。另外，试样台形成被夹在衰减部与试样室的第一侧面之间而被支撑的结构，在衰减部的箱体的内部填充有多个摩擦体。

根据本说明书的记载、附图，本公开相关的其它特征将变得明了。另外，本公开的方案通过要素及多种要素的组合以及以下的详细记载和附加的权利要求书的方案达成而实现。

本说明书的记载只是典型的事例，需要理解，并非在任意意义上限定本公开的权利要求书或应用例。

发明效果

根据本公开，能够在环境声音等干扰作用于装置而使试样台振动时，在维持使该试样台的振动降低的支撑部件的刚性的状态下，赋予衰减。

附图说明

图1是表示实施方式的带电粒子装置的概略剖面结构的图。

图2是表示第一实施方式的带电粒子装置的衰减部的剖面结构的图。

图3是表示第二实施方式的带电粒子装置的衰减部的剖面结构的图。

图4是表示第三实施方式的带电粒子装置的衰减部的剖面结构的图。

图5是表示第四实施方式的带电粒子装置的衰减部的剖面结构的图。