[发明专利]模块化薄膜沉积系统

摘要

一种模块化薄膜沉积系统包括：机器基部、用于将材料的薄膜沉积到基体的工艺表面上的沉积头、包括固定部分和可移动部分的运动致动器、以及适合安装在运动致动器的可移动部分上的一个或多个可互换基体定位器模块。可互换基体定位器模块包括运动学安装特征，运动学安装特征与在运动致动器的可移动部分上的对应的运动学安装特征接合。运动致动器使可互换基体定位器在运动方向上移动，从而在将材料的薄膜沉积到基体的工艺表面上期间使基体在与沉积头的输出面相平行的平面中在沿轨道方向上移动。

主权项

1.一种模块化薄膜沉积系统，包括：机器基部；沉积头，所述沉积头相对于所述机器基部刚性地定位，用于将材料的薄膜沉积到基体的工艺表面上，所述沉积头具有输出面，所述输出面面对所述基体的所述工艺表面；运动致动器，所述运动致动器包括固定部分和可移动部分，所述固定部分刚性地附接至所述机器基部，所述可移动部分包括运动学安装特征；一个或多个可互换基体定位器模块，适合安装在所述运动致动器的所述可移动部分上，其中，所述可互换基体定位器模块包括匹配运动学安装特征，所述匹配运动学安装特征与所述运动致动器的所述可移动部分的所述运动学安装特征接合，各个可互换基体定位器模块适合使所述基体定位为接近所述沉积头的所述输出面，使得所述基体的所述工艺表面平行于所述沉积头的所述输出面，并且所述基体在与所述沉积头的所述输出面相垂直的方向上自由移动；并且其中，所述运动致动器使所述可互换基体定位器在运动方向上移动，从而在将所述材料的薄膜沉积到所述基体的所述工艺表面上期间使所述基体在与所述沉积头的所述输出面相平行的平面中在沿轨道方向上移动。