[发明专利]用于高频应用的改进的探针卡

摘要

本发明提供了一种用于电子器件的测试装置的探针卡(20)，包括：测试头(21)，容纳有沿纵轴轴线(H‑H)在第一端部(24A)和第二端部(24B)之间延伸的多个接触元件(22)；支撑板(23)，第一端部(24A)适于抵靠在支撑板(23)上；以及柔性膜(25)，包括第一面(F1)和相对的第二面(F2)。便利地，柔性膜(25)的第一部分(25A)设置在至少一个支撑件(28)上并且包括在近端(27A)和远端(27B)之间延伸的多个带(27)，探针卡(20)还包括多个微接触探针(30)，这些微接触探针(30)包括沿纵轴轴线(H‑H)在第一端部(30A)和第二端部(30B)之间延伸的主体(30C)，每个接触元件(22)的第二端部(24B)在对应的带(27)的远端(27B)处抵靠在柔性膜(25)的第一面(F1)上，并且每个微接触探针(30)的第一端部(30A)在对应的接触元件(22)处抵靠在柔性膜(25)的第二面(F2)上，柔性膜(25)通过其第二部分(25B)电连接至支撑板(23)，微接触探针(30)的第二端部(30B)适于与待测器件的接触垫(32)接触，其中至少一个支撑件(28)包括用于容纳多个微接触探针(30)的多个导引孔(28h)。

主权项

1.一种用于电子器件的测试装置的探针卡(20)，包括：测试头(21)，所述测试头(21)容纳有多个接触元件(22)，所述多个接触元件(22)沿第一端部(24A)和第二端部(24B)之间的纵轴轴线(H‑H)延伸；支撑板(23)，所述第一端部(24A)适于抵靠在所述支撑板(23)上；以及柔性膜(25)，所述柔性膜(25)包括第一面(F1)和与所述第一面(F1)相对的第二面(F2)，所述探针卡(20)的特征在于，所述柔性膜(25)的第一部分(25A)布置在至少一个支撑件(28)上并且包括在近端(27A)和远端(27B)之间延伸的多个带(27)；所述探针卡(20)还包括：多个微接触探针(30)，所述多个微接触探针(30)包括主体(30C)，所述主体(30C)沿所述纵轴轴线(H‑H)在第一端部(30A)和第二端部(30B)之间延伸，每个接触元件(22)的所述第二端部(24B)在对应的带(27)的所述远端(27B)处抵接至所述柔性膜(25)的所述第一面(F1)，并且每个微接触探针(30)的所述第一端部(30A)在对应的接触元件(22)处抵接所述柔性膜(25)的所述第二面(F2)，所述柔性膜(25)通过其第二部分(25B)电连接至所述支撑板(23)，所述微接触探针(30)的所述第二端部(30B)适于与待测器件的接触垫(32)接触，其中，所述至少一个支撑件(28)设置有用于容纳所述多个微接触探针(30)的多个导引孔(28h)。