[发明专利]具有预定阴极材料蚀除的阴极电弧蒸发

摘要

本发明涉及借助阴极电弧蒸发来蒸发阴极的方法，在此，电弧焦斑借助在时间和地点上可控的磁场被迫向在阴极表面上的预定移动轨迹，其中产生阴极表面的预定材料蚀除。本发明也涉及用于执行本发明方法的装置。

主权项

1.一种借助阴极电弧蒸发法在真空室中蒸发阴极的方法，其中，电弧被引燃且电弧焦斑在待蒸发阴极表面上在预定移动轨迹上的运动是借助引导磁场被强制的，其中，采用在该真空室之内的内磁体件以及在该真空室之外的外磁体件，用于分别产生至少一个内磁场和一个外磁场，其中，该引导磁场是因磁场相互作用而出现的隧道形引导磁场，其特征是，该隧道形引导磁场是可变的且在执行电弧蒸发法过程中产生至少两个不同的引导磁场(M1,M2)，其中，该方法包括如下步骤：‑产生第一隧道形引导磁场(M1)，其被用于在第一持续时间t1在待蒸发阴极表面上沿第一移动轨迹引导电弧焦斑，其中，在阴极表面的第一区域中出现具有长度(L1)的第一蚀除路径(W1)，其中，第一持续时间(t1)对应于：行经第一蚀除路径(W1)的整个长度(L1)一次，该焦斑所需的时间，‑改变第一引导磁场的性能，以调节成不同于第一引导磁场的第二隧道形引导磁场(M2)，第二隧道形引导磁场被用于在第二持续时间(t2)在待蒸发阴极表面上沿第二移动轨迹引导电弧焦斑，其中，在阴极表面的第二区域中出现具有长度(L2)的第二蚀除路径(W2)，其中，第二持续时间(t2)对应于：行经第二蚀除路径(W2)的整个长度(L2)一次，该焦斑所需的时间，‑执行电弧蒸发法，其中，在电弧蒸发法的整个持续期间t_tot，第一引导磁场(M1)在接通期间t_ein1投入使用，并且第二引导磁场(M2)在接通期间t_ein2投入使用，其中，t_ein1≥t1，t_ein2≥t2，并且t_tot≥t_ein1+t_ein2，其中，t1和t2分别持续若干秒到若干分钟。