[发明专利]标记在审
| 申请号： | 201880010773.4 | 申请日： | 2018-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN110382998A | 公开（公告）日： | 2019-10-25 |
| 发明（设计）人： | 川上満;福田康幸 | 申请（专利权）人： | 恩普乐股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B11/26;G01C15/06 |
| 代理公司： | 北京北翔知识产权代理有限公司 11285 | 代理人： | 侯婧;钟守期 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种新的标记，当检测装置检测所述标记时可以确定所述标记的方向，而不需要要求AR或VMP。本发明的标记包括基板，其中所述基板在一个表面上具有至少4个圆记号，所述4个圆记号中的2个形成一对并且位于所述表面上对角的位置，所述4个圆记号中的另外2个形成一对并且位于所述表面上对角的位置，并且所述4个圆记号满足以下条件(1)或(2)：条件(1)：所述4个圆记号中的一个圆记号，在检测到距给定检测位置以给定距离定位的标记时，被检测为在所述标记的任何旋转状态下大于其他圆记号；条件(2)：所述一对中的一个圆记号和所述另一对中的一个圆记号具有相同的大小，并且在检测到距给定检测位置以给定距离定位的标记时，被检测为在所述标记的任何旋转状态下大于其他圆记号。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 对角 给定距离 检测位置 旋转状态 基板 检测装置 | ||
【主权项】：
1.一种标记，其特征在于，包括：基板，其中所述基板的一个表面上具有至少4个圆记号，所述4个圆记号中，其中的2个形成一对，位于所述表面上对角的位置，另外2个形成一对，位于所述表面上对角的位置，所述圆记号满足以下条件(1)或(2)：条件(1)：所述4个圆记号中的一个圆记号，在检测到距给定检测位置以给定距离定位的所述标记时，被检测为在所述标记的任何旋转状态下大于其他圆记号；条件(2)：所述一对中的一个圆记号和所述另一对中的一个圆记号具有相同的大小，并且在检测到距给定检测位置以给定距离定位的所述标记时，被检测为在所述标记的任何旋转状态下大于其他圆记号。
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