[发明专利]基于电阻率调整原位监测的测量值有效
| 申请号： | 201880006844.3 | 申请日： | 2018-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN110178208B | 公开（公告）日： | 2023-06-06 |
| 发明（设计）人： | K·徐;I·卡尔松;S-H·沈;B·A·斯伟德克;T-Y·刘 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/304;H01L21/3105;H01L21/321 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 汪骏飞;侯颖媖 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 存储第一电阻率值和将具有所述第一电阻率值的导电层的厚度与来自原位监测系统的信号相关的相关函数。接收基板上的导电层的第二电阻率值。在抛光期间，从监测所述基板的原位电磁感应监测系统接收取决于所述导电层的厚度的信号值序列。基于所述信号值序列和所述相关函数而产生厚度值序列。对于所述厚度值序列的至少一些厚度值，产生调整后的厚度值，所述调整后的厚度值补偿在所述第一电阻率值与所述第二电阻率值之间的变化，以产生调整后的厚度值序列。基于所述调整后的厚度值序列来检测抛光终点或确定对抛光参数的调整。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 电阻率 调整 原位 监测 测量 | ||
【主权项】：
1.一种有形地编码在非瞬时计算器可读介质上的计算器程序产品，包含用于致使计算器系统执行以下操作的多个指令：存储第一电阻率值和将具有所述第一电阻率值的导电层的厚度与来自原位监测系统的信号相关的相关函数；接收在基板上的导电层的第二电阻率值；在抛光期间，从监测所述基板的原位电磁感应监测系统接收取决于所述导电层的厚度的信号值序列；基于所述信号值序列和所述相关函数而产生厚度值序列；对于所述厚度值序列的至少一些厚度值，产生调整后的厚度值，所述调整后的厚度值补偿在所述第一电阻率值与所述第二电阻率值之间的变化，以产生调整后的厚度值序列；以及基于所述调整后的厚度值序列而检测抛光终点或确定对抛光参数的调整中的至少一个。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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