[发明专利]气化器及元件结构体的制造装置在审
| 申请号： | 201880004362.4 | 申请日： | 2018-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN109952388A | 公开（公告）日： | 2019-06-28 |
| 发明（设计）人： | 青代信;清健介;高桥明久;矢岛贵浩;加藤裕子 | 申请（专利权）人： | 株式会社爱发科 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;H01L51/50;H05B33/04;H05B33/10 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 辛雪花;周艳玲 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的气化器用于对元件结构体的制造装置供给经气化的树脂材料，具备：气化槽，具备用于对液状树脂材料进行气化的内部空间；吐出部，用于在所述内部空间中喷雾出所述液状树脂材料；加热部，在所述内部空间中与所述吐出部相对配置，并且用于对喷雾出的所述液状树脂材料进行加热使之气化；和储存部，在所述内部空间中配设在所述加热部的下方，并且未由该加热部气化的所述液状树脂材料滴落而保管到所述储存部。 | ||
| 搜索关键词： | 液状树脂材料 加热部 气化的 元件结构 制造装置 储存部 气化器 吐出部 喷雾 树脂材料 相对配置 气化槽 滴落 气化 加热 保管 | ||
【主权项】：
1.一种气化器，用于对元件结构体的制造装置供给经气化的树脂材料，所述气化器具备：气化槽，具备用于对液状树脂材料进行气化的内部空间；吐出部，用于在所述内部空间中喷雾出所述液状树脂材料；加热部，在所述内部空间中与所述吐出部相对配置，并且用于对喷雾出的所述液状树脂材料进行加热使之气化；和储存部，在所述内部空间中配设在所述加热部的下方，并且未由该加热部气化的所述液状树脂材料滴落而保管到所述储存部。
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