[发明专利]树脂膜形成方法以及掩膜有效
| 申请号： | 201880003976.0 | 申请日： | 2018-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN109844165B | 公开（公告）日： | 2021-11-12 |
| 发明（设计）人： | 青代信;清健介;高桥明久 | 申请（专利权）人： | 株式会社爱发科 |
| 主分类号： | C23C14/12 | 分类号： | C23C14/12;B05D1/32;C23C14/04;C23C14/58;H01L51/50;H05B33/04 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 张路;王琦 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的树脂膜形成方法为在基板上形成图案化的树脂膜的方法，至少按顺序具备：第一工序，使用掩膜主体具有可挠性支撑部与粘结部重叠的结构的掩膜，以使所述粘结部相对于所述基板相接的方式来设置所述掩膜；第二工序，通过设置在所述掩膜主体的开口部，将汽化的树脂材料供给到所述基板并使其在该基板上凝缩，当在该基板上形成液状的树脂材料膜之后，对该树脂材料膜和所述掩膜照射UV光；以及第三工序，将所述掩膜从所述基板剥离。 | ||
| 搜索关键词： | 树脂 形成 方法 以及 | ||
【主权项】：
1.一种树脂膜形成方法，为在基板上形成图案化的树脂膜的方法，至少按顺序具备：第一工序，使用掩膜主体具有可挠性支撑部与粘结部重叠的结构的掩膜，以使所述粘结部相对于所述基板相接的方式来设置所述掩膜；第二工序，通过设置在所述掩膜主体的开口部，将汽化的树脂材料供给到所述基板并使其在该基板上凝缩，当在该基板上形成液状的树脂材料膜之后，对该树脂材料膜和所述掩膜照射UV光；以及第三工序，将所述掩膜从所述基板剥离。
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