[实用新型]一种wafer扩晶转移贴膜机构

摘要

本实用新型涉及一种wafer扩晶转移贴膜机构，沿顶部从上往下依次设置第一平台、第二平台、第三平台、第四平台和切膜机构，第一平台上设置有同步带传送机构，第二平台上设置有第一电机，第一电机与驱动轮相连接，并通过同步带、从动轮驱动升降丝杆上下移动，第四平台上一端设置有第二电机，第二电机与水平移动丝杆的一端驱动连接，水平移动丝杆的另一端穿过第一固定块后固定设置在第四平台上，第四平台上沿水平移动丝杆方向两侧还设置有滑轨，第三平台配合设置在滑轨上，还包括设置在切膜机构下方的真空吸附装置和扩晶机构。本实用新型结构简单、制造成本低且操作简便，同时设置有水平传动机构和竖直传动机构，灵活度高，加工精度高。

主权项

1.一种wafer扩晶转移贴膜机构，其特征在于，所述机构沿顶部从上往下依次设置第一平台(1)、第二平台(3)、第三平台(4)、第四平台(6)和切膜机构(12)，所述第二平台(3)、第三平台(4)和切膜机构(12)之间均通过四周的连接杆固定连接，所述第一平台(1)上设置有同步带传送机构，包括驱动轮(20)、同步带(19)和从动轮(18)，所述第二平台(3)上设置有第一电机(2)，所述第一电机(2)与驱动轮(20)相连接，并通过同步带(19)、从动轮(18)驱动升降丝杆(14)上下移动，所述升降丝杆(14)的一端与从动轮(18)转动连接，另一端穿过第二平台(3)后与第三平台(4)固定连接，且升降丝杆(14)与第二平台(3)铰接，所述第三平台(4)中间位置设置有第一固定块，所述第四平台(6)上一端设置有第二电机(5)，所述第二电机(5)与水平移动丝杆(17)的一端驱动连接，水平移动丝杆(17)的另一端穿过第一固定块后固定设置在第四平台(6)上，且水平移动丝杆(17)通过第一固定块与第三平台(4)铰接，所述第四平台(6)上沿水平移动丝杆(17)方向两侧还设置有滑轨(15)，所述第三平台(4)配合设置在滑轨(15)上，所述切膜机构(12)位于第四平台(6)的底部；还包括设置在所述切膜机构(12)下方的真空吸附装置(13)和扩晶机构(10)，所述扩晶机构(10)的底部设置有气缸(11)，所述扩晶机构(10)的侧端通过安装座与减速机(8)相连接，且安装座上靠近扩晶机构(10)的位置设置有传感器(9)。