[实用新型]一种wafer扩晶转移贴膜机构有效

专利信息
申请号: 201822256325.2 申请日: 2018-12-29
公开(公告)号: CN209104125U 公开(公告)日: 2019-07-12
发明(设计)人: 钟小龙 申请(专利权)人: 苏州矽微电子科技有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L33/00
代理公司: 苏州唯亚智冠知识产权代理有限公司 32289 代理人: 陈晓瑜
地址: 215000 江苏省苏州市*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 水平移动丝杆 电机 本实用新型 切膜机构 贴膜机构 滑轨 同步带传送机构 竖直传动机构 水平传动机构 真空吸附装置 固定设置 配合设置 驱动连接 上下移动 升降丝杆 依次设置 制造成本 从动轮 固定块 灵活度 驱动轮 同步带 穿过 驱动 加工
【说明书】:

实用新型涉及一种wafer扩晶转移贴膜机构,沿顶部从上往下依次设置第一平台、第二平台、第三平台、第四平台和切膜机构,第一平台上设置有同步带传送机构,第二平台上设置有第一电机,第一电机与驱动轮相连接,并通过同步带、从动轮驱动升降丝杆上下移动,第四平台上一端设置有第二电机,第二电机与水平移动丝杆的一端驱动连接,水平移动丝杆的另一端穿过第一固定块后固定设置在第四平台上,第四平台上沿水平移动丝杆方向两侧还设置有滑轨,第三平台配合设置在滑轨上,还包括设置在切膜机构下方的真空吸附装置和扩晶机构。本实用新型结构简单、制造成本低且操作简便,同时设置有水平传动机构和竖直传动机构,灵活度高,加工精度高。

技术领域

本实用新型涉及一种wafer扩晶转移贴膜机构。

背景技术

扩晶是固晶的前一道辅助工序,芯片之间的间距很小,这样没有办法上自动固晶机,因此必须用一种办法把芯片隔开,贴芯片的膜是具有拉伸性的,用扩晶机将模拉伸,然后套上固晶环,这就是扩晶。在LED晶片的生产过程中,LED晶片在划片后形成阵列的晶粒,阵列的晶粒贴附在晶片膜上,晶片膜上的晶粒排列十分紧密,不利于后续工序的操作,而在LED灯的生产过程中,LED晶片的检测和分选是一道非常重要的工序。为了易于对LED晶片的检测和分选,必须扩大晶片膜上原有LED晶片之间的间距,也就是通过扩晶机对晶片膜进行扩晶操作。目前市面上常见的扩晶机大多体型较大,制造成本高,且操作复杂。而且现有的扩晶机大多只设置有上下升降功能,灵活度较差,精度不高。

有鉴于上述的缺陷,本设计人积极加以研究创新,以期创设一种wafer扩晶转移贴膜机构,使其更具有产业上的利用价值。

实用新型内容

为解决上述技术问题,本实用新型的目的是提供一种结构简单、制造成本低、精度高且能实现在水平和竖直方向上移动的wafer扩晶转移贴膜机构。

为实现上述目的,本实用新型采用如下技术方案:

一种wafer扩晶转移贴膜机构,机构沿顶部从上往下依次设置第一平台、第二平台、第三平台、第四平台和切膜机构,第二平台、第三平台和切膜机构之间均通过四周的连接杆固定连接,第一平台上设置有同步带传送机构,包括驱动轮、同步带和从动轮,第二平台上设置有第一电机,第一电机与驱动轮相连接,并通过同步带、从动轮驱动升降丝杆上下移动,升降丝杆的一端与从动轮转动连接,另一端穿过第二平台后与第三平台固定连接,且升降丝杆与第二平台铰接,第三平台中间位置设置有第一固定块,第四平台上一端设置有第二电机,第二电机与水平移动丝杆的一端驱动连接,水平移动丝杆的另一端穿过第一固定块后固定设置在第四平台上,且水平移动丝杆通过第一固定块与第三平台铰接,第四平台上沿水平移动丝杆方向两侧还设置有滑轨,第三平台配合设置在滑轨上,切膜机构位于第四平台的底部;

还包括设置在切膜机构下方的真空吸附装置和扩晶机构,扩晶机构的底部设置有气缸,扩晶机构的侧端通过安装座与减速机相连接,且安装座上靠近扩晶机构的位置设置有传感器。

作为本实用新型的进一步改进,滑轨的两端设置有限制块。

作为本实用新型的进一步改进,第一电机和第二电机均为伺服电机。

作为本实用新型的进一步改进,升降丝杆和水平移动丝杆均为滚珠丝杆。

作为本实用新型的进一步改进,减速机的安装座上还设置有电机翻转机构。

借由上述方案,本实用新型至少具有以下优点:

本实用新型结构简单、制造成本低且操作简便;同时设置有水平传动机构和竖直升降机构,灵活度高,加工精度高。

上述说明仅是本实用新型技术方案的概述,为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段,并可依照说明书的内容予以实施,以下以本实用新型的较佳实施例并配合附图详细说明如后。

附图说明

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