[实用新型]一种wafer扩晶转移贴膜机构有效
| 申请号: | 201822256325.2 | 申请日: | 2018-12-29 |
| 公开(公告)号: | CN209104125U | 公开(公告)日: | 2019-07-12 |
| 发明(设计)人: | 钟小龙 | 申请(专利权)人: | 苏州矽微电子科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L33/00 |
| 代理公司: | 苏州唯亚智冠知识产权代理有限公司 32289 | 代理人: | 陈晓瑜 |
| 地址: | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 水平移动丝杆 电机 本实用新型 切膜机构 贴膜机构 滑轨 同步带传送机构 竖直传动机构 水平传动机构 真空吸附装置 固定设置 配合设置 驱动连接 上下移动 升降丝杆 依次设置 制造成本 从动轮 固定块 灵活度 驱动轮 同步带 穿过 驱动 加工 | ||
本实用新型涉及一种wafer扩晶转移贴膜机构,沿顶部从上往下依次设置第一平台、第二平台、第三平台、第四平台和切膜机构,第一平台上设置有同步带传送机构,第二平台上设置有第一电机,第一电机与驱动轮相连接,并通过同步带、从动轮驱动升降丝杆上下移动,第四平台上一端设置有第二电机,第二电机与水平移动丝杆的一端驱动连接,水平移动丝杆的另一端穿过第一固定块后固定设置在第四平台上,第四平台上沿水平移动丝杆方向两侧还设置有滑轨,第三平台配合设置在滑轨上,还包括设置在切膜机构下方的真空吸附装置和扩晶机构。本实用新型结构简单、制造成本低且操作简便,同时设置有水平传动机构和竖直传动机构,灵活度高,加工精度高。
技术领域
本实用新型涉及一种wafer扩晶转移贴膜机构。
背景技术
扩晶是固晶的前一道辅助工序,芯片之间的间距很小,这样没有办法上自动固晶机,因此必须用一种办法把芯片隔开,贴芯片的膜是具有拉伸性的,用扩晶机将模拉伸,然后套上固晶环,这就是扩晶。在LED晶片的生产过程中,LED晶片在划片后形成阵列的晶粒,阵列的晶粒贴附在晶片膜上,晶片膜上的晶粒排列十分紧密,不利于后续工序的操作,而在LED灯的生产过程中,LED晶片的检测和分选是一道非常重要的工序。为了易于对LED晶片的检测和分选,必须扩大晶片膜上原有LED晶片之间的间距,也就是通过扩晶机对晶片膜进行扩晶操作。目前市面上常见的扩晶机大多体型较大,制造成本高,且操作复杂。而且现有的扩晶机大多只设置有上下升降功能,灵活度较差,精度不高。
有鉴于上述的缺陷,本设计人积极加以研究创新,以期创设一种wafer扩晶转移贴膜机构,使其更具有产业上的利用价值。
实用新型内容
为解决上述技术问题,本实用新型的目的是提供一种结构简单、制造成本低、精度高且能实现在水平和竖直方向上移动的wafer扩晶转移贴膜机构。
为实现上述目的,本实用新型采用如下技术方案:
一种wafer扩晶转移贴膜机构,机构沿顶部从上往下依次设置第一平台、第二平台、第三平台、第四平台和切膜机构,第二平台、第三平台和切膜机构之间均通过四周的连接杆固定连接,第一平台上设置有同步带传送机构,包括驱动轮、同步带和从动轮,第二平台上设置有第一电机,第一电机与驱动轮相连接,并通过同步带、从动轮驱动升降丝杆上下移动,升降丝杆的一端与从动轮转动连接,另一端穿过第二平台后与第三平台固定连接,且升降丝杆与第二平台铰接,第三平台中间位置设置有第一固定块,第四平台上一端设置有第二电机,第二电机与水平移动丝杆的一端驱动连接,水平移动丝杆的另一端穿过第一固定块后固定设置在第四平台上,且水平移动丝杆通过第一固定块与第三平台铰接,第四平台上沿水平移动丝杆方向两侧还设置有滑轨,第三平台配合设置在滑轨上,切膜机构位于第四平台的底部;
还包括设置在切膜机构下方的真空吸附装置和扩晶机构,扩晶机构的底部设置有气缸,扩晶机构的侧端通过安装座与减速机相连接,且安装座上靠近扩晶机构的位置设置有传感器。
作为本实用新型的进一步改进,滑轨的两端设置有限制块。
作为本实用新型的进一步改进,第一电机和第二电机均为伺服电机。
作为本实用新型的进一步改进,升降丝杆和水平移动丝杆均为滚珠丝杆。
作为本实用新型的进一步改进,减速机的安装座上还设置有电机翻转机构。
借由上述方案,本实用新型至少具有以下优点:
本实用新型结构简单、制造成本低且操作简便;同时设置有水平传动机构和竖直升降机构,灵活度高,加工精度高。
上述说明仅是本实用新型技术方案的概述,为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段,并可依照说明书的内容予以实施,以下以本实用新型的较佳实施例并配合附图详细说明如后。
附图说明
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





