[实用新型]一种水平载片舟及其托架结构

摘要

本实用新型公开了一种水平载片舟及其托架结构，所述水平载片舟包括载片舟本体，所述载片舟本体上端面设有若干内凹的凹槽，所述凹槽尺寸略大约硅片的尺寸；所述水平载片舟托架结构包括托架本体，所述托架本体包括左右设置的侧板，所述侧板相对的内侧设有卡槽。本实用新型通过将载片舟及其托架结构设计为水平结构，能够使得放置在载片舟本体内凹槽内的硅片的背面不会被镀上Al2O3膜的工艺，且在后续丝网印刷的工艺过程中只需要使用普通的浆料即能达到较佳的效果，大大降低了生产成本。