[实用新型]氮化炉抽真空系统有效
申请号: | 201822254567.8 | 申请日: | 2018-12-29 |
公开(公告)号: | CN209412296U | 公开(公告)日: | 2019-09-20 |
发明(设计)人: | 王占营;宋广林;王志永;王亚辉;王占军;赵万春 | 申请(专利权)人: | 河南诺兰特新材科技有限公司 |
主分类号: | C23C8/24 | 分类号: | C23C8/24 |
代理公司: | 郑州金成知识产权事务所(普通合伙) 41121 | 代理人: | 郭增欣 |
地址: | 450041 河南省郑州市上*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种氮化炉抽真空系统,包括氮化炉,所述氮化炉的炉体上设置有抽气孔,所述抽气孔通过连接管道连接冷凝器、罗茨真空泵和旋片式真空泵,所述冷凝器的进气口与所述抽气孔之间通过所述连接管道连通,所述冷凝器的出气口连接的所述连接管道连通两条并联的真空管道和排气管道,所述真空管道连通所述罗茨真空泵的进气口,所述罗茨真空泵的出气口通过波纹管和所述连接管道连通所述旋片式真空泵的进气口,所述真空管道和所述排气管道并联后连接废气处理装置,所述旋片式真空泵的出气口通过所述连接管道连接在所述排气管道上,本实用新型采用双级泵抽真空系统,系统结构简单、使用方便、密封性好、运行可靠,抽真空效率高。 | ||
搜索关键词: | 连接管道 氮化炉 进气口 旋片式真空泵 连通 抽真空系统 罗茨真空泵 排气管道 真空管道 抽气孔 出气口 冷凝器 本实用新型 并联 废气处理装置 抽真空效率 密封性好 系统结构 波纹管 双级泵 炉体 | ||
【主权项】:
1.一种氮化炉抽真空系统,包括氮化炉(1),所述氮化炉(1)的炉体上设置有抽气孔(2),其特征在于:所述抽气孔(2)通过连接管道(3)连接冷凝器(4)、罗茨真空泵(5)和旋片式真空泵(6),所述冷凝器(4)的进气口与所述抽气孔(2)之间通过所述连接管道(3)连通,所述冷凝器(4)的出气口连接的所述连接管道(3)连通两条并联的真空管道和排气管道,所述真空管道连通所述罗茨真空泵(5)的进气口,所述罗茨真空泵(5)的出气口通过波纹管(7)和所述连接管道(3)连通所述旋片式真空泵(6)的进气口,所述排气管道连接废气处理装置,所述旋片式真空泵(6)的出气口通过所述连接管道(3)连接在所述排气管道上。
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