[实用新型]氮化炉抽真空系统有效

专利信息
申请号: 201822254567.8 申请日: 2018-12-29
公开(公告)号: CN209412296U 公开(公告)日: 2019-09-20
发明(设计)人: 王占营;宋广林;王志永;王亚辉;王占军;赵万春 申请(专利权)人: 河南诺兰特新材科技有限公司
主分类号: C23C8/24 分类号: C23C8/24
代理公司: 郑州金成知识产权事务所(普通合伙) 41121 代理人: 郭增欣
地址: 450041 河南省郑州市上*** 国省代码: 河南;41
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摘要:
搜索关键词: 连接管道 氮化炉 进气口 旋片式真空泵 连通 抽真空系统 罗茨真空泵 排气管道 真空管道 抽气孔 出气口 冷凝器 本实用新型 并联 废气处理装置 抽真空效率 密封性好 系统结构 波纹管 双级泵 炉体
【权利要求书】:

1.一种氮化炉抽真空系统,包括氮化炉(1),所述氮化炉(1)的炉体上设置有抽气孔(2),其特征在于:所述抽气孔(2)通过连接管道(3)连接冷凝器(4)、罗茨真空泵(5)和旋片式真空泵(6),所述冷凝器(4)的进气口与所述抽气孔(2)之间通过所述连接管道(3)连通,所述冷凝器(4)的出气口连接的所述连接管道(3)连通两条并联的真空管道和排气管道,所述真空管道连通所述罗茨真空泵(5)的进气口,所述罗茨真空泵(5)的出气口通过波纹管(7)和所述连接管道(3)连通所述旋片式真空泵(6)的进气口,所述排气管道连接废气处理装置,所述旋片式真空泵(6)的出气口通过所述连接管道(3)连接在所述排气管道上。

2.根据权利要求1所述的氮化炉抽真空系统,其特征在于:所述抽气孔(2)出口的所述连接管道(3)上设置有放气阀(8)和真空表(9)。

3.根据权利要求1所述的氮化炉抽真空系统,其特征在于:所述冷凝器(4)的顶部设置冷却水入口、底部设置冷却水出口,所述冷凝器(4)的进气口和出气口连接的所述连接管道(3)上均设置有管道阀(10),所述排气管道上也设置有所述管道阀(10)。

4.根据权利要求1所述的氮化炉抽真空系统,其特征在于:所述罗茨真空泵(5)和所述旋片式真空泵(6)的进气口上端均设置有真空电磁阀(11),所述罗茨真空泵(5)和所述旋片式真空泵(6)均采用电动机带动并通过联轴器连接。

5.根据权利要求1所述的氮化炉抽真空系统,其特征在于:所述冷凝器(4)采用高分子复合材料制成。

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