[实用新型]一种离线式分双片机有效
申请号: | 201822216496.2 | 申请日: | 2018-12-27 |
公开(公告)号: | CN209471941U | 公开(公告)日: | 2019-10-08 |
发明(设计)人: | 梁明刚 | 申请(专利权)人: | 广东启天自动化智能装备股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L31/18 |
代理公司: | 泰州淘权知识产权代理事务所(普通合伙) 32365 | 代理人: | 赵东阳 |
地址: | 523637 广东省东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种离线式分双片机,包括控制电箱、满篮入篮装置、分双片装置、硅片入篮装置,所述分双片装置安装于满篮入篮装置与硅片入篮装置之间,所述满篮入篮装置包括入料篮具切换机构、满篮升降机构,所述分双片装置包括单片固定吸盘组机构、六轴分片机械手机构、伸缩线机构,所述硅片入篮装置包括硅片存储机构、硅片输送机构、硅片缓存机构、换篮机构,本实用新型方便对制绒处理后的双片进行分离,运送至下一道工序进行使用,工作效率高,自动化程度高,可以降低碎片率。 | ||
搜索关键词: | 双片 硅片 本实用新型 离线式 硅片输送机构 工作效率高 机械手机构 固定吸盘 硅片存储 缓存机构 控制电箱 升降机构 制绒处理 装置安装 伸缩线 碎片率 单片 篮具 六轴 入料 自动化 运送 | ||
【主权项】:
1.一种离线式分双片机,其特征在于:包括控制电箱(1)、满篮入篮装置(2)、分双片装置(3)、硅片入篮装置(4),所述分双片装置(3)安装于满篮入篮装置(2)与硅片入篮装置(4)之间,所述满篮入篮装置(2)包括入料篮具切换机构(21)、满篮升降机构(22),所述分双片装置(3)包括单片固定吸盘组机构(31)、六轴分片机械手机构(32)、伸缩线机构(33),所述硅片入篮装置(4)包括硅片存储机构(41)、硅片输送机构(42)、硅片缓存机构(43)、换篮机构(44)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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