[实用新型]自动提拉旋转机械臂及腐蚀清洗机有效
| 申请号： | 201822194151.1 | 申请日： | 2018-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN209502411U | 公开（公告）日： | 2019-10-18 |
| 发明（设计）人： | 黄国民;艾伟 | 申请（专利权）人： | 吉林华微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B3/10;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 苏胜 |
| 地址： | 132013 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体加工设备技术领域，公开了一种自动提拉旋转机械臂及腐蚀清洗机。自动提拉旋转机械臂包括升降驱动机构、旋转驱动机构以及吊篮；所述旋转驱动机构包括电机以及所述电机驱动的三角旋转齿轴；所述吊篮形成片筐的支撑框，所述电机固定在所述吊篮上，所述三角旋转齿轴穿设在所述吊篮内，片筐能够放置在所述三角旋转齿轴的上方，且片筐内的硅片能够在三角旋转齿轴的作用下转动；所述升降驱动机构与所述吊篮连接，并能够实现吊篮的升降。本实用新型降低了操作员工的劳动强度，更好保证操作的一致性，减少人为因素对产品质量的影响；也避免了操作员工近距离的接触化学试剂，保障了操作员工的安全。 | ||
| 搜索关键词： | 吊篮 旋转齿 旋转机械臂 提拉 升降驱动机构 旋转驱动机构 本实用新型 腐蚀清洗机 员工 半导体加工设备 电机固定 电机驱动 化学试剂 人为因素 近距离 支撑框 硅片 轴穿 升降 转动 电机 安全 保证 | ||
【主权项】：
1.一种自动提拉旋转机械臂，其特征在于，包括升降驱动机构、旋转驱动机构以及吊篮；所述旋转驱动机构包括电机以及所述电机驱动的三角旋转齿轴；所述吊篮形成片筐的支撑框，所述电机固定在所述吊篮上，所述三角旋转齿轴穿设在所述吊篮内，片筐能够放置在所述三角旋转齿轴的上方，且片筐内的硅片能够在三角旋转齿轴的作用下转动；所述升降驱动机构与所述吊篮连接，并能够实现吊篮的升降。
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