[实用新型]自动提拉旋转机械臂及腐蚀清洗机

说明书

本实用新型涉及半导体加工设备技术领域，公开了一种自动提拉旋转机械臂及腐蚀清洗机。自动提拉旋转机械臂包括升降驱动机构、旋转驱动机构以及吊篮；所述旋转驱动机构包括电机以及所述电机驱动的三角旋转齿轴；所述吊篮形成片筐的支撑框，所述电机固定在所述吊篮上，所述三角旋转齿轴穿设在所述吊篮内，片筐能够放置在所述三角旋转齿轴的上方，且片筐内的硅片能够在三角旋转齿轴的作用下转动；所述升降驱动机构与所述吊篮连接，并能够实现吊篮的升降。本实用新型降低了操作员工的劳动强度，更好保证操作的一致性，减少人为因素对产品质量的影响；也避免了操作员工近距离的接触化学试剂，保障了操作员工的安全。

技术领域

本实用新型涉及半导体加工设备技术领域，尤其是涉及一种自动提拉旋转机械臂及腐蚀清洗机。

背景技术

在半导体芯片制造过程中，经常用到腐蚀和去胶操作。腐蚀清洗机是用于对硅片进行腐蚀或清洗的设备，其上设置有清洗槽和试剂槽。对硅片进行腐蚀或清洗的操作工艺，一般称为做片。现有在腐蚀清洗机上的做片操作具体过程是，将硅片放置在片筐里后放置到清洗槽或试剂槽内，而后通过人工手动晃动和提拉片筐进行做片。

由于做片过程多采用人工，做片操作时员工需要近距离接触化学试剂，容易对操作员工造成伤害；且依赖人工进行做片，生产效率低、劳动强度大；进一步，依赖人工，做片过程中人为因素影响大，产品的一致性也难以得到保障。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种自动提拉旋转机械臂，以解决现有技术中存在的半导体加工工艺中，硅片清洗或腐蚀操作时依赖人工操作，生产效率低、劳动强度大且产品一致性难以保证的技术问题。

本实用新型的目的还在于提供一种腐蚀清洗机，以解决现有技术中存在的半导体加工工艺中，硅片清洗或腐蚀操作时依赖人工操作，生产效率低、劳动强度大且产品一致性难以保证的技术问题。

基于上述第一目的，本实用新型提供了一种自动提拉旋转机械臂，包括升降驱动机构、旋转驱动机构以及吊篮；

所述旋转驱动机构包括电机以及所述电机驱动的三角旋转齿轴；

所述吊篮形成片筐的支撑框，所述电机固定在所述吊篮上，所述三角旋转齿轴穿设在所述吊篮内，片筐能够放置在所述三角旋转齿轴的上方，且片筐内的硅片能够在三角旋转齿轴的作用下转动；

所述升降驱动机构与所述吊篮连接，并能够实现吊篮的升降。

进一步地，所述吊篮包括第一侧板、第二侧板、第一横板和第二横板，所述第一侧板与所述第二侧板沿竖向相对间隔设置，所述第一横板和第二横板连接在所述第一侧板与所述第二侧板之间，且所述第一横板与所述第二横板上下间隔设置；

所述第一横板包括相同高度间隔平行设置的两根，所述第二横板包括相同高度间隔平行设置的两根；第二横板设置在第一横板的下方，且第二横板能够支撑片筐下沿，第一横板的设置高度不超过片筐放置在吊篮内时的片筐上沿。

进一步地，所述第一侧板和第二侧板相同，所述第一侧板和第二侧板分别包括悬挂部以及篮筐部，所述悬挂部设置在所述篮筐部的上方，所述悬挂部的宽度小于所述篮筐部；

所述第一横板和所述第二横板分别与所述篮筐部连接；

所述升降驱动机构与所述悬挂部连接。

进一步地，所述升降驱动机构包括气缸、气缸挂板以及吊篮挂臂；

所述气缸的输出杆与所述气缸挂板连接，所述吊篮挂臂一端与所述气缸挂板连接，所述吊篮挂臂的另一端与所述悬挂部连接。

进一步地，所述气缸通过气缸固定板固定设置，所述气缸固定板通过气缸固定板挂板挂设固定。