[实用新型]一种吸盘式晶元硅片减薄机有效

专利信息
申请号: 201822185639.8 申请日: 2018-12-25
公开(公告)号: CN209282172U 公开(公告)日: 2019-08-20
发明(设计)人: 陈琳 申请(专利权)人: 苏州美法光电科技有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/683
代理公司: 苏州翔远专利代理事务所(普通合伙) 32251 代理人: 刘计成
地址: 215000 江苏省苏州市吴*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种吸盘式晶元硅片减薄机,包括设备机箱,所述设备机箱的左侧固定连接有进液管,所述进液管上固定连接有分流管,所述设备机箱的上端开设有进料口,所述进料口内开设有固定槽,所述进料口内活动安装有密封盖,所述密封盖的上端活动安装有提拉把手,所述密封盖的下端固定安装有安装卡块,所述密封盖的外侧活动安装有弹性圈,所述设备机箱的右侧上端活动安装有驱动电机,所述驱动电机的外侧活动安装有防护罩,所述防护罩外侧预留有散热孔,所述驱动电机的下端活动安装有驱动轴,所述驱动轴的下端活动安装有输出锥形齿轮。该吸盘式晶元硅片减薄机,提升加工的效率,提高产品质量产量的同时,减少运营成本的投入。
搜索关键词: 活动安装 设备机箱 密封盖 硅片减薄 驱动电机 吸盘式 上端 晶元 下端 防护罩 进液管 驱动轴 输出锥形齿轮 本实用新型 安装卡块 运营成本 弹性圈 分流管 固定槽 进料口 散热孔 提拉 预留 把手 加工
【主权项】:
1.一种吸盘式晶元硅片减薄机,包括设备机箱(1),其特征在于:所述设备机箱(1)的左侧固定连接有进液管(5),所述进液管(5)上固定连接有分流管(6),所述设备机箱(1)的上端开设有进料口(7),所述进料口(7)内开设有固定槽(701),所述进料口(7)内活动安装有密封盖(19),所述密封盖(19)的上端活动安装有提拉把手(20),所述密封盖(19)的下端固定安装有安装卡块(1901),所述密封盖(19)的外侧活动安装有弹性圈(1902),所述设备机箱(1)的右侧上端活动安装有驱动电机(10),所述驱动电机(10)的外侧活动安装有防护罩(11),所述防护罩(11)外侧预留有散热孔(12),所述驱动电机(10)的下端活动安装有驱动轴(13),所述驱动轴(13)的下端活动安装有输出锥形齿轮(14),所述输出锥形齿轮(14)的左侧啮合连接有接受锥形齿轮(15),所述接受锥形齿轮(15)的左端活动安装有传动轴(16),所述传动轴(16)的左侧活动安装有定位板(17),所述定位板(17)的左侧活动安装有清洗滚筒(18),所述清洗滚筒(18)的外侧固定连接有连接轴(1802),所述清洗滚筒(18)的表面活动安装有密封门(1801),所述清洗滚筒(18)内固定安装有固定杆(1803),所述固定杆(1803)之间活动安装有安装吸盘(21),所述安装吸盘(21)上预留有吸气孔(23),所述安装吸盘(21)的外侧活动安装有密封圈(22),所述设备机箱(1)的内侧下端固定安装有导流板(4),所述导流板(4)的两侧活动安装有安装板(3),所述安装板(3)远离清洗滚筒(18)的一侧固定安装有阻隔板(2),所述设备机箱(1)的右侧下端活动安装有控制阀(8),所述控制阀(8)的下端开设有废液出口(9)。
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