[实用新型]一种具有可见光带通滤波功能的硅基光电探测器有效

专利信息
申请号: 201822134869.1 申请日: 2018-12-19
公开(公告)号: CN209328907U 公开(公告)日: 2019-08-30
发明(设计)人: 江灏;宋志远 申请(专利权)人: 中山大学
主分类号: H01L31/0216 分类号: H01L31/0216;H01L31/0203
代理公司: 广州润禾知识产权代理事务所(普通合伙) 44446 代理人: 杨钊霞;张柳
地址: 510275 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型涉及可见光光电探测器技术领域,尤其涉及一种具有可见光带通滤波功能的硅基光电探测器,包括多膜层复合滤波薄膜和外壳;外壳内设有硅基光电探测器芯片与引线,外壳的底部外侧设有引脚,引线用于连接引脚和硅基光电探测器芯片电极,外壳的顶部为用于光入射的窗口玻璃;所述多膜层复合滤波薄膜包括多种折射率交替分布的膜层;多膜层复合滤波薄膜位于窗口玻璃的上表面或下表面,或位于硅基光电探测器芯片表面的钝化膜上。通过将多膜层复合滤波薄膜集成在外壳顶部的窗口玻璃或硅基光电探测器芯片表面的钝化膜上,使得硅基光电探测器集成了滤波功能,结构简单、集成度高、体积较小、易于制作、成本低,无需外加滤波器,即能对背景杂散光进行有效滤波,同时还能有效降低入射信号的损失。
搜索关键词: 硅基光电探测器 滤波薄膜 多膜层 窗口玻璃 滤波功能 复合 芯片表面 钝化膜 光带 滤波器 背景杂散光 本实用新型 光电探测器 可见光 交替分布 连接引脚 入射信号 外壳顶部 芯片电极 光入射 集成度 上表面 下表面 折射率 滤波 膜层 引脚 芯片 制作
【主权项】:
1.一种具有可见光带通滤波功能的硅基光电探测器,其特征在于,包括多膜层复合滤波薄膜(1)和外壳(2);外壳(2)内设有硅基光电探测器芯片(3)与引线(4),外壳(2)的底部外侧设有引脚(6),引线(4)用于连接引脚(6)和硅基光电探测器芯片(3)电极,外壳(2)的顶部为用于光入射的窗口玻璃(5);所述多膜层复合滤波薄膜(1)包括多种折射率交替分布的膜层;多膜层复合滤波薄膜(1)位于窗口玻璃(5)的上表面或下表面,或位于硅基光电探测器芯片(3)表面的钝化膜上;所述硅基光电探测器为金属壳型封装结构、表面贴装结构或通孔封装结构。
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