[实用新型]一种具有可见光带通滤波功能的硅基光电探测器有效
申请号: | 201822134869.1 | 申请日: | 2018-12-19 |
公开(公告)号: | CN209328907U | 公开(公告)日: | 2019-08-30 |
发明(设计)人: | 江灏;宋志远 | 申请(专利权)人: | 中山大学 |
主分类号: | H01L31/0216 | 分类号: | H01L31/0216;H01L31/0203 |
代理公司: | 广州润禾知识产权代理事务所(普通合伙) 44446 | 代理人: | 杨钊霞;张柳 |
地址: | 510275 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 硅基光电探测器 滤波薄膜 多膜层 窗口玻璃 滤波功能 复合 芯片表面 钝化膜 光带 滤波器 背景杂散光 本实用新型 光电探测器 可见光 交替分布 连接引脚 入射信号 外壳顶部 芯片电极 光入射 集成度 上表面 下表面 折射率 滤波 膜层 引脚 芯片 制作 | ||
1.一种具有可见光带通滤波功能的硅基光电探测器,其特征在于,包括多膜层复合滤波薄膜(1)和外壳(2);外壳(2)内设有硅基光电探测器芯片(3)与引线(4),外壳(2)的底部外侧设有引脚(6),引线(4)用于连接引脚(6)和硅基光电探测器芯片(3)电极,外壳(2)的顶部为用于光入射的窗口玻璃(5);所述多膜层复合滤波薄膜(1)包括多种折射率交替分布的膜层;多膜层复合滤波薄膜(1)位于窗口玻璃(5)的上表面或下表面,或位于硅基光电探测器芯片(3)表面的钝化膜上;所述硅基光电探测器为金属壳型封装结构、表面贴装结构或通孔封装结构。
2.根据权利要求1所述的一种具有可见光带通滤波功能的硅基光电探测器,其特征在于,多膜层复合滤波薄膜(1)包括两种高低折射率交替分布的膜层。
3.根据权利要求2所述的一种具有可见光带通滤波功能的硅基光电探测器,其特征在于,两种高低折射率交替分布的膜层分别为TiO2膜层和SiO2膜层;TiO2膜层折射率为2.35~2.82,SiO2膜层折射率为1.4~1.5。
4.根据权利要求1至3任一项所述的一种具有可见光带通滤波功能的硅基光电探测器,其特征在于,多膜层复合滤波薄膜(1)包括15~80个膜层。
5.根据权利要求4所述的一种具有可见光带通滤波功能的硅基光电探测器,其特征在于,多膜层复合滤波薄膜(1)各膜层厚度为5~400nm。
6.根据权利要求1所述的一种具有可见光带通滤波功能的硅基光电探测器,其特征在于,多膜层复合滤波薄膜(1)带通滤波的波长为435~465nm。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的