[实用新型]多步沉积的高效晶硅异质结太阳能电池结构

摘要

本实用新型涉及的一种多步沉积的高效晶硅异质结太阳能电池结构，它包括N型晶体硅片，所述N型晶体硅片的正面和背面均设有多层非晶硅本征层，所述正背面的非晶硅本征层的外侧设有非晶硅掺杂层，所述非晶硅掺杂层外侧设有TCO导电膜，所述TCO导电膜的外侧均设有若干Ag电极，相邻两层非晶硅本征层之间均设有H等离子体处理层，最外层的非晶硅本征层和非晶硅掺杂层之间设有H等离子体处理层。本实用新型采用多步沉积非晶硅本征层，在完成每一步沉积后都加一步H等离子体处理，既可以增加薄膜中H原子含量，提高非晶硅本征层对晶硅表面的钝化效果，同时降低非晶硅本征层自身的缺陷态密度，提升太阳能电池的光电转换效率。

主权项

1.一种多步沉积的高效晶硅异质结太阳能电池结构，它包括N型晶体硅片（1），所述N型晶体硅片（1）的正面和背面均设有非晶硅本征层，所述正面的非晶硅本征层的外侧设有n型非晶硅掺杂层（6），所述背面的非晶硅本征层的外侧设有p型非晶硅掺杂层（7），所述n型非晶硅掺杂层（6）和p型非晶硅掺杂层（7）的外侧均设有TCO导电膜（8），所述TCO导电膜（8）的外侧均设有若干Ag电极（9），其特征在于：所述非晶硅本征层设有多层，相邻两层非晶硅本征层之间均设有H等离子体处理层，正面最外层的非晶硅本征层和n型非晶硅掺杂层（6）之间设有H等离子体处理层，背面最外层的非晶硅本征层和p型非晶硅掺杂层（7）之间设有H等离子体处理层。