[实用新型]面蒸发源蒸镀装置有效
| 申请号： | 201822058879.1 | 申请日： | 2018-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN212152426U | 公开（公告）日： | 2020-12-15 |
| 发明（设计）人： | 张志林;张建华;李俊;蒋雪茵 | 申请（专利权）人： | 上海大学 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/26;C23C14/28;B05B9/04;B05D1/02;B05D3/02 |
| 代理公司： | 上海上大专利事务所(普通合伙) 31205 | 代理人： | 陆聪明 |
| 地址： | 200444*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种面蒸发源蒸镀装置。它是由可卷绕的柔性金属箔带作为蒸发料薄膜层的承载件，承载件上用波峰涂方法涂有蒸发料薄膜层，构成载有蒸发料膜层的面蒸发源；在此面蒸发源两端有一对加热电极，通过瞬间加热把承载件上蒸发料薄膜层瞬间全部均匀地蒸发到半成品基板上。从而大大提高了蒸发料的利用率。而且最后得到的蒸发薄膜层的材料成分、薄膜厚度、均匀度均由面蒸发源的蒸发料薄膜层来控制。使得此蒸镀装置不再需要蒸发速率和膜厚控制、多蒸发源控制，均匀性控制等复杂的机构，降低了设备成本、缩短了蒸镀节拍，提高了设备的利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发 源蒸镀 装置 | ||
【主权项】：
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